国家知识产权局信息显示,浙江赛瑾半导体科技有限公司申请一项名为“一种晶圆理片机构”的专利,公开号CN122971221A,申请日期为2026年9月。
专利摘要显示,本发明公开了一种晶圆理片机构,包括机架、理片机和光罩盒本体;设置于安装平台上的压盖机构;升降机构,升降机构上设有开合机构;旋转夹取机构;通过开合机构将底座与盒盖解锁,压盖机构与盒盖抵接,通过升降机构使底座运动到机架内部,通过旋转夹取机构将底座上的载具放置到理片机上。本发明提供的晶圆理片机构,通过开合机构将光罩盒本体的底座与盒盖解锁,并通过压盖机构将盒盖压制在安装平台上,通过升降机构驱使开合机构在机架内升降,并通过旋转夹取机构夹取底座上的载具放置到理片机上,从而实现光罩盒本体的自动开盒和理片,能够极大地提高理片效率,同时,在理片过程中,可以防止人工误开启盒盖,能够减少理片过程中晶圆受到的污染。
天眼查资料显示,浙江赛瑾半导体科技有限公司,成立于2022年,位于嘉兴市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本2848.95万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江赛瑾半导体科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目24次,财产线索方面有商标信息5条,专利信息85条,此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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