国家知识产权局信息显示,上海绘特科技有限公司取得一项名为“芯片光刻用高精度掩膜对准装置”的专利,授权公告号CN224889026U,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本实用新型涉及芯片光刻技术领域,具体为芯片光刻用高精度掩膜对准装置,包括底座和夹持机构,底座顶部设有十字滑台,十字滑台上设有工作台。本实用新型通过螺纹杆驱动两侧滑块沿滑槽同步相向或相背运动,可实现对夹持机构整体开合范围的大幅度、快速“粗调”,每个夹持单元上独立设置的直线模组,能够驱动两个连接块及L形夹板进行独立的“精调”,使得两侧的夹持点可以独立、精密地调整位置,不仅能精准适配掩膜板的实际边缘,还能在夹持后施加均匀且可控的夹持力,确保掩膜板被牢牢定位在理论中心位置,无强制偏移,适应不同尺寸掩膜板的快速换装,同时在滑槽顶部设置第一防护板与T形防护,有效阻挡灰尘、颗粒物进入滑动部位,减少故障率。
天眼查资料显示,上海绘特科技有限公司,成立于2020年,位于上海市,是一家以从事多式联运和运输代理业为主的企业。企业注册资本2100万人民币。通过天眼查大数据分析,上海绘特科技有限公司拥有行政许可1个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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