国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“前体容器系统和方法”的专利，公开号CN122959700A，申请日期为2026年4月。

专利摘要显示，一种方法可以包括：将包括固体前体的源容器加热至预定温度；响应于加热源容器，使源容器中的固体前体的第一部分升华或汽化以产生前体气体，从而使内部空间中的顶空体积增加到第二体积；使前体气体流出源容器；和/或响应于非气态前体的第一部分的升华或汽化而移动可移动底部，以将顶空体积朝向第一体积减小。

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作者：情报员