国家知识产权局信息显示,河南硅烷科技发展股份有限公司申请一项名为“一种钟罩式反应器及利用其制备多晶硅棒的方法”的专利,公开号CN122957845A,申请日期为2026年9月。

专利摘要显示,本发明涉及多晶硅制备技术领域,特别是涉及一种钟罩式反应器及利用其制备多晶硅棒的方法。本发明通过将钟罩式反应器的冷却套半径与硅芯半径之比限定为(2.5‑4):1,并将进气口设置于钟罩壳体的边缘位置,同时对硅芯进行氢气气氛下的高温热处理,使硅芯表面形成氢化硅表面,三项措施从流场优化、温度场调控和表面改性三个层面协同作用,能够有效抑制气态硅中间体的生成,强化硅烷气体向硅芯表面的扩散传质,消除氧化区域与清洁区域之间的反应活性差异,降低表面硅原子的迁移能垒,从而在保证较高硅烷转化率的同时,显著提高多晶硅棒的轴向沉积均匀性,并抑制枝晶和裂纹的产生。

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作者:情报员