国家知识产权局信息显示,碳芯微电子科技(深圳)有限公司申请一项名为“一种晶圆检测探针变速冲击接触方法及相关装置”的专利,公开号CN122962390A,申请日期为2026年9月。

专利摘要显示,本申请涉及一种晶圆检测探针变速冲击接触方法及相关装置,该方法包括:控制探针以第一速度向晶圆焊盘慢速接近至暂停位置;在暂停位置停留以消除残余振荡,使探针进入待冲击状态;以大于第一速度的第二速度驱动探针冲击焊盘,使针尖以运动动量在位移到达静态过驱动深度之前穿透焊盘表面的氧化层并接触下方金属层;穿透后维持接触压力。本申请以运动动量而非增大静态过驱动深度穿透氧化层,在降低焊盘损伤与针尖积铝的同时稳定地建立低接触电阻,具有兼顾接触可靠性、检测节拍与探针寿命的优点。

天眼查资料显示,碳芯微电子科技(深圳)有限公司,成立于2021年,位于深圳市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1105.263158万人民币。通过天眼查大数据分析,碳芯微电子科技(深圳)有限公司共对外投资了4家企业,财产线索方面有商标信息14条,专利信息30条,此外企业还拥有行政许可10个。

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作者:情报员