国家知识产权局信息显示,江苏奈飞微半导体有限公司申请一项名为“一种SiC基MOS芯片的混合键合封装高温稳定工艺”的专利,公开号CN122971294A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本申请公开了一种SiC基MOS芯片的混合键合封装高温稳定工艺,属于芯片封装技术领域,包括在SiC基MOS芯片的表面采用离子清洗技术进行清理,之后采用磁控溅射技术在所述芯片表面形成TiW和TiN双层结构,然后进行对基板进行化学镀层,然后刷制纳米银层,形成初步机械连接,在预键合结构上叠加Cu/Sn预制层,升温加压形成均匀的金属间化合物键合层,然后旋涂聚酰亚胺前驱体溶液,经高温固化形成弹性层,在基板背面激光刻蚀微通道,通道内填充高导热硅脂,在封装外层喷涂氧化钇稳定氧化锆陶瓷涂层,最后对封装芯片通过氦质谱技术检测,制得合格成品芯。本申请用以解决芯片封装工艺中成品芯片高温运行稳定性差,导电不稳定等问题。
天眼查资料显示,江苏奈飞微半导体有限公司,成立于2021年,位于南京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏奈飞微半导体有限公司专利信息15条,此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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