国家知识产权局信息显示,深圳市泰和五洲科技有限公司取得一项名为“一种用于电子束光刻的高精度束流调节装置”的专利,授权公告号CN224907207U,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本实用新型涉及束流调节技术领域,公开了一种用于电子束光刻的高精度束流调节装置,包括光刻机,所述光刻机顶部内壁固定连接有光刻头,所述光刻机底部内壁固定连接有连接架,所述连接架内部转动连接有双向螺纹杆,所述双向螺纹杆两端外圈均螺纹连接有螺母副,所述螺母副内部贯穿并滑动连接有限位杆,且限位杆与连接架内壁固定连接。本实用新型中通过齿轮传动与径向挤压结构实现光阑灵活拆装以适配束流需求,通过转动杆与联动机构实现聚光透镜便捷固定与拆卸保障聚焦稳定性,对束流调节及核心光学部件的维护更换,满足实际加工中对工件固定、束流控制及部件维护的实用需求,产生了提升加工精度、增强使用灵活性与可靠性的积极效果。
天眼查资料显示,深圳市泰和五洲科技有限公司,成立于2017年,位于深圳市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市泰和五洲科技有限公司参与招投标项目6次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息17条,此外企业还拥有行政许可9个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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