国家知识产权局信息显示,深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“调节机构、输送结构及半导体设备”的专利,公开号CN122991947A,申请日期为2026年8月。
专利摘要显示,本申请公开了一种调节机构、输送结构及半导体设备,调节机构设置于输送通道的内部和/或端部;输送通道设置在等离子体源与半导体工艺腔室之间,以通过等离子体;调节机构包括通孔部和磁性驱动组件,通孔部设置有多个通孔,多个通孔均沿通孔部的轴向贯通通孔部,并且多个通孔的尺寸和/或形状不同;磁性驱动组件包括:第一磁性件,与通孔部连接,设置于输送通道的径向内侧;以及第二磁性件,设置于输送通道的径向外侧,用于驱动第一磁性件带动通孔部旋转,以选择性地使多个通孔中的部分通孔与注入口的入口对齐,以使得等离子体经由部分通孔进入注入口;注入口设置于输送通道和半导体工艺腔室之间,以使得等离子体从注入口进入半导体工艺腔室。
天眼查资料显示,深圳市新凯来工业机器有限公司,成立于2022年,位于深圳市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本108140万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目20次,财产线索方面有商标信息23条,专利信息382条,此外企业还拥有行政许可16个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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