表面电位衰减测的是材料表面电荷的泄放行为，哪些场合需要看这个量，决定了设备的用武之地。
一是驻极体材料：驻极传声器、驻极熔喷布靠表面电荷工作，电荷半衰期直接对应产品寿命，充好电的样品放进160℃控温室做加速老化，用衰减速率外推常温寿命。二是静电防护材料：防静电包装、周转托盘要求电荷泄放快，充电后看电位掉到安全值的时间。三是栅极介质与封装材料：半导体器件的栅介质层、封装树脂里的电荷陷阱分布影响器件可靠性，衰减曲线的拐点和斜率对应陷阱能级组。四是电晕充电工艺研究：充电电压、针极距离、充电时间不同，注入电荷量不同，衰减行为随之改变。
系统极化±30kV，电位测量精度1V，采样频率大于1Hz，从充电到出曲线一次完成。