2025年全球半导体设备厂商TOP20榜单刚一披露,日本经济新闻愣住了——榜单里赫然站着三家中国公司:北方华创排第五,中微公司稳居第十二,上海微电子位列第十九。这不是凑数,是实打实按设备出货量、客户验证、工艺节点覆盖率硬核打上去的。八年前,2018年美国挥起芯片制裁大棒时,这张榜单上连一家中国企业的名字都找不到。
这事得倒过来想。先看结果:2024年中微公司发往全球的高端刻蚀机突破6000台,其中进入三星、台积电3nm产线的双工作台机型,能刻出60:1的深宽比结构,定位精度0.02纳米——这种活儿,全球掰着手指头数,不超过五家能干。再看北方华创,14nm刻蚀设备早批量交付中芯国际,5nm设备不光通过验证,台积电南科厂去年悄悄采购了三台做工程试产;他们新搞出来的混用型高精度贴片机,前道后道通吃,一台顶过去两台半,连长电科技的Chiplet封装线都换上了。
上海微电子不声不响,但全球每三台封装光刻机就有一台是它造的,市占率35%以上,世界第一;国内更夸张,85%以上的封装光刻需求靠它兜底。那台专攻3D大尺寸异构集成的封装光刻机,现在正卡在AI芯片量产命门上——寒武纪思元370、壁仞BR100、华为昇腾910B的先进封装,全绕不开它。没有这台机器,光有设计,芯片也堆不出性能。
有人问:光刻机不是还卡脖子?对,前道EUV确实没突破。但芯片制造从来不是只靠一个环节。就像盖楼,吊车再厉害,没钢筋、没混凝土、没塔吊、没升降平台,照样起不来。而北方华创供应刻蚀、清洗、薄膜沉积、离子注入;中微咬住最难啃的刻蚀;上微主攻封装光刻——三家企业加起来,从前道晶圆加工到后道先进封装,整条链路国产化率已超65%,核心设备不再依赖进口。去年荷兰那边琢磨收购安世半导体,结果安世中国直接把晶圆代工从恩智浦切到中芯国际,封装线全换上国产设备,反向把成品芯片销回欧洲。你猜荷兰那边最后咋办的?没声了。
2018年制裁刚来时,北方华创的刻蚀机还在攻关28nm,中微的设备刚进中芯14nm产线做验证,上海微电子那会儿还在啃90nm封装光刻机的光学对准难题。八年过去,没人举白旗。反而在封锁最狠的地方,长出了最硬的骨头。
热门跟贴