免责声明:本网发布此文章,旨在为读者提供更多信息资讯。文章观点仅供参考,所涉及内容不构成投资、消费建议。为提高文章流畅性,文章可能存在故事编译,读者请自行辩解!如事实如有疑问,请与有关方核实。
日本光刻胶垄断底气何在
日本光刻胶垄断全球90%的高端市场,这瓶被称为“芯片灵魂”的胶水,从上世纪80年代就被日本企业死磕——几代工程师用几十年时间试出分子级的“祖传秘方”。
EUV光刻胶的金属杂质含量必须低于0.1ppb,相当于几个标准游泳池的水里不能混进一粒沙子的金属杂质;
核心组分专利被JSR和东京应化攥在手里,占了85%;
加上几十年攒下的完善供应链,这三道壁垒让日本稳稳卡住全球半导体的脖子。
中国至暗时刻一粒沙致全线停摆
而中国,曾被这瓶“灵魂胶水”死死扼住喉咙——高端光刻胶100%依赖进口,没有它,ASML光刻机就是废铁,台积电3纳米产线得停摆,国内晶圆厂也一样。
换个牌子?生产线得调试数月,良率掉一半,停线成本是天文数字。
核心专利攥在别人手里,供应链说断就断,那种“卡脖子”的疼,中国半导体人最清楚。
中低端市场逆袭起步
中国没别的路,只能从零开始。
不跟日本硬碰硬,先从中低端市场练手——这是半导体人琢磨出的“循序渐进”。
北京科华、晶瑞电材、彤程新材这些企业,先从门槛低的KrF光刻胶这些成熟制程产品下手,一点点啃技术,攒人才,赚启动资金。
在中低端市场摸爬滚打几年,总算有了些样子,至少不用再100%依赖进口,为往高端冲攒下了底气。
实验室里的绣花攻坚战
实验室里的较量,是分子级的“绣花”——光刻胶的分子链怎么排列,光敏剂加多少才能精准感光,溶剂纯度差0.001%都会让芯片良率掉一半。
北大团队守着冷冻电子显微镜,一帧帧看光刻胶分子在液态下的三维结构,以前只能靠经验试错,现在能从根上设计分子,缺陷率降了三成。
纯度控制是道坎,EUV光刻胶的金属杂质得低于0.1ppb,实验室的超净间里,工程师戴着三层手套调溶液,连呼吸都得轻着来,生怕灰尘飘进去。
配方优化更磨人,北京科华的团队试了两百多种组合,光敏剂换了八代,才让光刻胶在硅片上的附着度达标。
这些在分子层面死磕的功夫,没人看得到,但正是这些不起眼的突破,让实验室的样品离量产越来越近。
光刻胶量产破冰之战
2025年12月,南大光电在宁波的ArF光刻胶量产线悄悄投产了。
设计产能50吨/年,不算大,但这条线一启动,就往中芯国际、华虹集团的晶圆厂里送产品——不是实验室的样品,是能稳定供货的量产胶。
用在哪儿?90纳米到28纳米工艺,这些国内主流晶圆厂的成熟制程,终于有了国产ArF光刻胶的身影。
这不是小打小闹,是国产ArF光刻胶第一次规模化供应,从实验室的烧杯、试管,到工厂里的反应釜、提纯塔,再到半导体产线的涂胶显影机,这条路走了快十年。
以前日本企业提起中国光刻胶,总说“实验室行,量产不行”,现在这条50吨的线,就是撕开的第一道口子——28纳米虽不是最顶尖,但足够让国内晶圆厂多一个选择,不用再攥着日本胶的供货单提心吊胆。
破冰船国产化加速跑
国产光刻胶的市场份额正在加速爬升。
2025年,KrF光刻胶国产化率接近30%,ArF光刻胶也突破10%,不再是实验室里的样品,而是实实在在走进了晶圆厂的产线。
企业的业绩也跟着水涨船高,彤程新材电子材料业务收入2024年同比增长超50%,晶瑞电材在光刻胶领域从亏损变成盈利。
从实验室到商业市场,国产光刻胶正踩着油门往前冲,这股加速的势头,让日本企业不得不重新打量这个曾经被他们看不起的对手。
追赶赛里的底气逆袭
中国在EUV光刻胶领域还在样品测试阶段,离日本的量产水平差着5到10年,可追赶的速度比谁都快。
实验室里,上海新阳的EUV胶已经能在硅片上形成7纳米线条,虽然良率只有日本产品的六成,但比去年提升了三成;北京科华的光敏剂分子纯度突破99.9999%,离EUV要求的0.1ppb杂质标准只差一步。
挑战肯定有,产业生态还没搭全,光刻胶配套的显影液、剥离液大多靠进口;懂EUV胶配方的资深工程师全国也就百十来个,比光刻机工程师还稀缺。
但国家大基金二期投了20亿到光刻胶产业链,企业每年研发投入占比超20%,连中科院化学所都专门成立了光刻胶实验室。
日本企业开始慌了,去年JSR把EUV胶产能扩了30%,东京应化还跑到中国设研发中心。
可中国半导体人憋着股劲:以前被卡脖子,我们从0做到ArF量产;现在EUV胶,别人走了三十年,我们争取十年追上来。
这不是空话,实验室的样品在变,产线的良率在涨,供应链的国产替代清单越来越长——别人能卡脖子,我们就能追上去,这股劲,就是从“陪跑”到“并跑”的底气。
热门跟贴