最近美国论坛上吵翻了天。
一群美国人满脸疑惑,觉得中国太“大胆”,没经过美国允许就敢私自研发DUV光刻板。
他们压根想不通,为啥中国不乖乖听话,非要自己搞这种“高精尖”设备。
其实这事儿说起来一点不复杂。
不是中国故意对着干,而是现实逼得不得不干。
更是中国作为主权国家的正当权利。
美国疯狂卡脖子
DUV光刻板是制造芯片的关键部件。
手机、电脑、汽车里的芯片,大多得靠它来生产。
中国是全球最大的芯片消费国,对DUV相关设备的需求一直特别大。
以前中国企业还能从荷兰ASML公司进口DUV光刻机。
巅峰时期中国市场占了ASML全球营收的40%,进口的DUV光刻机超120台。
可美国早就看不得中国顺畅发展,一步步收紧封锁。
2022年美国出台新规,把高端DUV光刻机纳入出口管制,审批周期硬生生拉长到18个月。
到了2023年,更是逼着荷兰禁售大部分浸没式DUV机型,还威胁制裁相关供应商。
这还不算完,美国连设备维修备件都限制供应,导致国内部分晶圆厂的老设备坏了修不了,只能闲置。
美国的心思很明显,就是想通过封锁让中国芯片产业停摆。
他们觉得只要锁死高端设备,中国就没法生产先进芯片,只能一直依赖进口。
可他们忘了,中国从来不吃“威胁恐吓”这一套,你越不让我用,我越要自己造。
不研发就被拿捏
中国的制造业规模摆在这。
从日常的手机电脑,到工业用的机床、汽车电子,每年需要海量芯片。
2025年国内对DUV光刻机的需求量已经达到280台。
光汽车电子领域的芯片需求,每年就以23%的速度增长。
如果不自主研发DUV光刻板,中国企业就只能被别人卡脖子。
进口设备价格高不说,还随时可能被断供。
一旦断供,下游的电子、通信、汽车等众多产业都会受影响。
无数企业可能面临停工,相关岗位也会受波及。
这不是危言耸听,而是实实在在的风险。
更关键的是,别人的技术再好,也不会真心分享。
西方一直觉得中国囤积的DUV光刻机顶多只能生产低端芯片,突破不了先进制程。
可中国通过技术创新,用多重曝光技术实现了高端芯片生产。
中芯国际依托储备的DUV光刻机,采用N+2工艺已经实现7nm芯片稳定量产,良率超过80%。
这说明DUV技术还有很大潜力。
中国必须牢牢抓在自己手里。
中国硬气有底气
中国敢研发DUV光刻板,不是一时冲动。
而是有实打实的底气。
国家早就把集成电路产业当成重点发展领域。
出台了专门政策支持关键核心技术研发,构建新型举国体制攻关。
国家集成电路产业投资基金三期还划拨300亿元专项支持。
重点投向光源、光学系统等核心模块。
企业和科研机构更是全力冲刺。
上海微电子推出的SSA800系列DUV光刻机,已经实现28nm制程的曝光能力,还通过了中芯国际的验证。
核心部件的突破更是让人振奋。
杭州雷声激光的全固态深紫外激光器实现规模化稳定量产,核心性能达到国际领先水平。
科益虹源的40W级ArF准分子激光光源量产,华卓精科的双工件台定位精度达到1.7nm。
都打破了国外垄断。
科研力量和企业的协同作战更是高效。
中科院、清华大学等科研机构和企业合作,把光刻胶验证周期从18个月压缩到14个月。
国内晶圆厂也纷纷掌握多重曝光技术。
不仅满足了国内产业需求,还逐步打破西方垄断。
2025年DUV相关设备国产化率已经从2023年的不足5%提升至15%。
上海微电子的600系列90nm光刻机,占据了国内80%的市场份额。
中国研发DUV光刻板,从来不需要美国“允许”。
每个主权国家都有权利发展自己的核心技术,保障本国产业安全。
美国的封锁不仅没拦住中国,反而倒逼中国加快了自主研发的脚步。
现在的中国,已经在DUV领域走出了自己的路。
未来还会继续稳步前进,打破更多技术垄断。
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