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1984年的荷兰埃因霍温,飞利浦总部园区的角落里,搭着几间漏雨的木棚。31个工程师挤在里面,旁边的集装箱轰鸣作响——那是他们第一台光刻机的液压油泵,噪音大到无法在室内工作,只能扔到外面。这就是阿斯麦最初的样子。飞利浦内部流传着一个笑话:把员工调到这个部门,不过是"延迟裁员"罢了。

没有人相信这家公司能活下去。彼时的光刻机市场,美国GCA和日本尼康各占三成份额,剩下的被佳能和其他厂商瓜分。阿斯麦算什么?一个大公司甩出来的"问题儿童",连像样的办公室都没有。

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更要命的是,他们千辛万苦造出来的第一台光刻机PAS 2000,根本卖不出去。这台机器采用油基液压系统,运行时会产生油烟,而芯片制造需要的是一尘不染的洁净室。换句话说,客户买回去根本没法用。唯一肯下单的是飞利浦自己的半导体部门,但那与其说是采购,不如说是"拉兄弟一把"。

1988年春天,公司账上的钱已经发不出工资。另一个股东ASM也被无底洞般的亏损拖垮,不得不撤资走人。阿斯麦站在了悬崖边上。

就在这时,命运送来了一份意外的礼物。1987年,刚刚成立的台积电向阿斯麦下了一笔大订单。设备交付后不久,台积电的工厂发生火灾,光刻机全部烧毁。按理说,这对双方都是灾难——但保险公司赔付了损失,台积电不得不重新订购同样的设备。订单翻倍了。这笔意外之财,成了阿斯麦在最艰难时期的救命稻草。

更重要的是,这次合作让阿斯麦和台积电建立了深厚的信任关系。十五年后,正是这份信任,把阿斯麦推上了王座。

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2002年,全球半导体行业陷入焦虑。光刻机的光源波长卡在193纳米,再也降不下去。波长降不下去,芯片制程就无法继续缩小,摩尔定律眼看就要失效。日本尼康押注157纳米的干式光刻技术,美国的研究联盟则在攻关十几纳米的极紫外光技术,但两条路都困难重重。

这时候,台积电的一位华裔工程师林本坚提出了一个看似疯狂的想法:为什么非要缩短波长?在镜头和硅片之间加一层水不就行了?水的折射率是1.44,193纳米除以1.44约等于134纳米——不用改变光源,就能等效出更短的波长。

林本坚带着这个方案跑遍了美国和日本的光刻机巨头,结果处处碰壁。尼康在157纳米技术上已经投入了数十亿日元,怎么可能承认自己走错了路?有大厂的高管甚至直接给台积电写信,要求"管管这个搅局的人"。