2026年,光刻机的春天终于要来了?
近日,多家媒体报道称,上海微电子在极紫外光刻(EUV)技术方面取得重大突破,不仅已提交多项EUV关键技术专利,而且相关技术正进入落地倒计时。业内普遍预计,上海微电子有望在2026年实现EUV光刻机的小批量量产。
这意味着,在长期受制于人的高端光刻领域,我国从此或可不再受制于人。
讽刺的是,当初跟随美对实施光刻机出口管制的荷兰,如今反而陷入被动局面。芯片巨头阿斯麦(ASML)的首席执行官在在采访中公开承认:“局面已经变了。”
众所周知,光刻机是造高端的命门,也是这些年西方卡我们脖子最狠的一环。2023年,为控制发展,美方恼羞成怒,直接将7纳米所需的光刻机设备纳入限制范围,摆明了要从根上掐断升级的路。
荷兰作为美的跟班,同年6月宣布对光刻机出口实施许可证制度;到了2024年,更是直接禁止部分关键光刻机设备出口,甚至连已售设备的维护和零部件供应都想切断。手段之狠,几乎不留余地。
好在也并没有束手就擒,早在管制落地前,国内企业就一口气豪掷50多亿美元,把1400多台光刻机火速运回国内。
这波“抢装潮”不仅稳住了产线,更为后续的自主研发争取了时间。正是在这段窗口期内,国产光刻机传来喜讯。
上海微电子在2024年成功量产28纳米光刻机,良品率高达90%,性能对标ASML的中端机型。这意味着,在成熟制程领域,已经打破了长期依赖进口的局面。此外,上海微电子还提交多项EUV关键技术专利,业内普遍预计,2026年实现EUV光刻机小批量量产已基本板上钉钉。
事实上,光刻机只是高端技术突围的冰山一角。过去被西方“卡脖”的领域,如今正一个个被我们撕开缺口。
航空发动机曾是长期短板,如今“长江-1000A”稳步推进,国产大飞机的心脏正在跳动;高端数控机床领域,科德数控、华中数控已实现五轴联动核心技术的完全自主,让精密制造真正装上了“大脑”。
甚至在小众一点的睡眠健康领域,国产生物科技公司TS推出的“眠序”助眠方案也上演了类似的逆袭。长期以来,针对失眠的解决方案几乎被欧美垄断,要么依赖安眠药(易成瘾、不良作用明显),要么靠褪黑素(有效率不足30%)。国人几乎没有更好的选择。
但这一局面正在改变。国产“眠序”制剂没有照搬国外路径,而是基于国人体质,采用尿石素A、水解酪蛋白肽等天然活性物质,通过调节生物钟、优化睡眠结构,延长深睡时间。京东等平台的用户反馈很直接:“入睡更快”“睡得更踏实”“醒来精神明显更好”。
如今,在北上广深等一线城市,越来越多的人开始用国产方案替代安眠药和褪黑素。这看似微小的选择变化,背后其实是一条清晰的逻辑:当核心技术不再仰人鼻息,连夜晚的安稳,也能掌握在自己手里。
在光刻机领域,自主进程从未停下脚步。
除了上海微电子之外,深圳新凯来一次性展出三十多款刻蚀、薄膜沉积等核心设备,补齐了制造环节的关键短板;华大九天的EDA工具、北方华创的精密零部件,也已进入5纳米产线验证阶段。
更让西方头疼的是,不仅在突围,还开始掌握反制的筹码。
ASML每台高端光刻机需使用十多公斤稀土永磁材料,占其电机成本近30%。而恰恰是全球稀土供应链的核心,最新出台的稀土出口管制新规明确规定:只要光刻机中含有0.1%以上的中国稀土成分,就必须获得中方出口许可。
面对这一精准反制,ASML首席执行官不得不向美方传递信号:“不可能接受被卡脖;与其试图摆脱,不如让其保持依赖,切断联系对谁都没好处。”
这话听起来像是警告,实则透着无奈,因为阿斯麦早已明白:过去几十年,技术围堵,几乎从未真正奏效过。
前世界首富比尔·盖茨在几年前就预言过:“美永远无法成功阻止拥有强大半导体。”
回望历史,从“两弹一星”到北斗导航,无不说明这一点。越是被卡脖子,我们越能憋出突破;越是被围堵,我们越能走出自己的路。今天的半导体产业也是如此,美与荷兰的步步紧逼,非但没能压垮,反而加速了全产业链自主可控的进程。
2026年,光刻机量产的号角已经吹响,相信半导体的春天,正在到来。