2024年9月,中科大前副院长朱士尧的一句话直接炸了全网——“美国造不出,中国永远都不可能”。当时中美半导体博弈正热,美国封锁先进光刻机、卡中国芯片脖子,全国上下都盼着国产突破,这话一出来,评论区瞬间吵翻:有人骂他“唱衰中国”,有人说他“老糊涂了”。可这位在科技圈摸爬滚打几十年、退休还被华为返聘十年的老专家,为啥突然说这话?
朱士尧1944年生在上海嘉定,1963年考进中科大核反应堆工程专业,毕业后就在中科大教书搞研究,后来还当了研究生院副院长。61岁退休后被华为拉回去,一干就是十年,直到2014年底才真正歇下来。他这辈子亲眼见中国科技从落后到追赶,早年被卡脖子的滋味比谁都清楚;在华为那十年,更是看着华为做大,也看着它被美国制裁断供的难。
说白了,光刻机就是造芯片的核心家伙,手机、电脑、汽车里的芯片,尤其是高端的,离了它根本玩不转。现在全世界最牛的光刻机,是荷兰阿斯麦做的,高端机型基本被它垄断,一台卖几十亿,排队好几年还不一定能拿到货。
有人就问了,美国科技那么牛,咋造不出光刻机?朱士尧说的“美国造不出”真不是瞎话——光刻机就像个巨型拼图,得几十个国家凑零件才能拼起来,单靠一个国家根本搞不定。你看阿斯麦的高端光刻机,自己只做不到10%的核心技术,剩下90%的零件得靠全球5000多家供应商。比如核心光源最早是美国公司的,但主脉冲激光得靠德国一家公司;光学镜子平整度误差不能超0.1纳米,全世界只有德国蔡司能造;光刻胶这种超高纯材料,主要靠日本产,美国自己也得买。
早年美国也有光刻机公司,曾经挺厉害的,后来被日本公司挤压,加上研发成本太高,要么破产要么卖了业务,现在美国本土根本没有能造完整光刻机的企业。它能设计高端芯片,但要生产还得从荷兰买阿斯麦的机器——说白了,不是美国技术不行,是单独搞不定。
懂了这点,就明白朱士尧后半句的意思了:连美国这么牛的国家,都做不到单独造光刻机,中国科技基础不如美国,单独搞当然更难,尤其是最顶尖的那种。造光刻机不光要全球合作,研发成本高得吓人,还得几十年技术积累,不是砸钱就能追上的。阿斯麦搞高端光刻机花了20多年、几百亿欧元,找了几千个工程师,还得靠各国供应商帮忙,少了合作根本没戏。
中国在光刻机领域起步很晚,上世纪90年代造芯片的光刻机全靠进口,自己没啥研发能力。直到2002年上海微电子成立,才真正开始琢磨这事,那时候实验室条件一般,工程师们天天泡车间调试,踩了不少坑。
2019年起,美国施压荷兰不让卖高端光刻机给中国,还联合其他国家封锁技术、断供核心零件。中国也加大投入,清华搞专项实验室研发光刻机材料,上海微电子慢慢突破,造出了自己的光刻机。现在能造分辨率65纳米以上的机型,够汽车电子、消费电子的中端芯片用,本土专利超过500项,各个环节都有进步。
光刻机国产化率从2022年的40%涨到2024年的65%,镜片、掩膜板这些关键零件也优化了,不用全靠进口。上海微电子还扩产能、加快迭代,这些都是实打实的进步。但差距还是大:咱们的套刻精度约1.5纳米,阿斯麦能控制在1纳米以内,这点差距就影响高端芯片的产量和效率;而且中低端光刻机的核心零件和材料,比如高端光刻胶,还得从日本买。
网上骂朱士尧的人,其实都误解他了。他不是不爱国,一辈子都在为中国科技出力,退休了还盯着进展。他就是太懂行,清楚其中的难度,不想让大家盲目乐观——造光刻机不能急功近利,更不能指望单打独斗追上荷兰、美国。
中国从来不怕难,越被封锁越能激发潜力,越遇问题越团结。以前高铁、航天、5G、新能源,都是从追赶到并跑甚至领跑,光刻机领域也一样。只要一步一个脚印,加强国际合作,总有一天能造出自己的高端光刻机,不再被卡脖子。
参考资料:
1. 中国科学报《朱士尧:光刻机需全球协作突破》
2. 上海微电子2024年度公开报告
3. 中科大官方访谈资料