2026年2月,《科技导报》发表了一篇由王阳元和陈南翔共同撰写的报告,王阳元是中芯国际的创始人,陈南翔担任长江存储的董事长,两人身份具有行业代表性,报告中提出了一项重要计划:国家将主导推动“超级半导体体”项目,其目标并非逐步弥补技术短板,而是直接攻关EUV光刻机,并同步突破EDA工具、核心材料及制造设备等关键环节,这一计划并非空谈,时间点设定在美国全面断供之后,显示出紧迫的战略部署。
美国那边没什么反应,但Tom's Hardware发了篇文章分析这事,他们觉得中国的目标可以理解,不过有两个实际问题绕不过去,一个是时间问题,ASML从第一台样机到稳定生产用了十三年,另一个是数据积累,EUV设备要靠台积电、英特尔这些大厂每天几百万片晶圆的实际生产数据来不断调试优化,如果只是在实验室里模拟,没有真实的生产线提供数据支持,根本行不通,文章虽然没有直接说中国一定做不到,但意思很明白:你得有人愿意把新设备放到生产线上去试,哪怕一开始会出问题。
其实ASML不是凭空出现的,80年代尼康占了光刻市场大部分份额,开机率达到98%,美国GCA只有70%左右,英特尔那时候亏损严重,差点倒闭,1986年一年就烧掉1.73亿美元,美国着急了,一边签下《美日半导体协定》打压日本,一边拉拢欧洲组建EUV LLC联盟,还专门选了当时的小公司ASML来扶持,条件很清楚,研发中心必须设在美国,核心技术要通过美国审查,对中国禁售,说白了,ASML是政治工程的产物,不是单纯的技术胜利。
中国早年技术其实不差,白春礼提到过,60到70年代我们的光刻技术只比国外落后五年到七年,问题出在80年代以后,进口设备便宜又方便,国产设备没人愿意用,也就没机会去试错,没有数据可以反馈,陈国良院士说得更直接,不怕设备落后,就怕没人愿意在生产线上陪你一起改进,现在有些晶圆厂宁愿排队等ASML的备件,也不敢换用国产设备,不是不相信技术,而是担心停线造成的损失太大。
转机出现在2024到2025年,美国把N+2和N+3节点的光刻机全部限制出口,中芯、长存和海思再也没法等下去,上海微电子的28纳米深紫外光刻机和北芯的电子设计自动化工具被硬推上生产线,一开始大家心里都没底,结果发现生产线真的运转起来了,以前国产设备只能在实验室里演示,现在一年有百万片晶圆的实际负载压上去,问题暴露得快,解决得也快,一个从前不敢想的循环开始形成:产线报错,企业连夜修改,再次上机验证,客户继续反馈,这不是“死亡螺旋”,而是被迫走出来的进化之路。
台湾那边的情况在慢慢改变,台积电从2025年开始受到美国的限制,跟中国的技术合作变得越来越少,但它自己也面临难题,全球只有一台High-NA EUV设备能生产5纳米以下的芯片,ASML公司的产能早就排满了,如果中国能把14纳米芯片稳定做到每月十万片以上,全球芯片供应的主动权就不只看谁的技术更强,还要看谁能真正把生产线开动起来。
有老师傅告诉我,他年轻时调试国产光刻机,图纸都是手画的,零件也要自己打磨,现在的年轻人一上手就用进口设备,反而不知道怎么修理了,断供就像突然挨了一闷棍,让人疼得厉害,但也让大家明白过来,技术可以花钱买,但生产线的信任只能靠自己一点点挣回来。