文/王新喜
曝出史上最大亏损的尼康光刻机,要开始自救了,要为过去犯的错误止损。
我们知道,全球光刻机的厂商主要是荷兰ASML,日本的尼康、佳能,以及中国大陆的上海微电子。ASML一家独大,份额高达85%,佳能大约是10%,尼康是5%,上海微电子的份额为0.2%。
前段时间,日本尼康曝出2025财年预亏850亿日元,创下公司历史上最大亏损纪录,尽管尼康解释是因为3D打印机业务拖累,但其光刻机数据尤为扎眼,过去半年仅卖了9台,而且卖的几乎全是成熟制程设备。
而荷兰ASML的半年答卷是,仅EUV光刻机就狂卖20多台,总出货量更高达160台。
2025年9月,尼康就关闭了运营58年的横滨工厂,标志着其光刻机业务进一步收缩。再按这样的情况发展下去,尼康的光刻机业务可能就完蛋了,所以尼康积极自救,在SEMICON China 2026展会上,尼康明确表示,将加大对中国市场的投入,不仅提供更高级的DUV设备,还针对中国市场推出二手设备销售和原厂升级服务。
光刻机对尼康的重要性不言而喻,尼康不想让光刻机业务倒闭,中国市场是它最后的救命稻草。
巨亏850亿:既有守旧傲慢的内因,又有主动加码制裁中国的外因
尼康走到今天,9:160的扎心数据背后,有ASML市场竞争因素,也有尼康自己的因素。
尼康押注中国,因为尼康是唯二拥有浸润式DUV光刻机的厂商。而佳能和上海微电子差不多,都只有干式DUV的水平。而且在目前,尽管EUV光刻机被禁了,但中国依然需要从ASML进口浸润式DUV光刻机。
因此,尼康认为自己的机会就在这里。而尼康自己也曾经栽在浸润式光刻机。
在ASML之前,尼康、佳能才是老大哥。尼康在1978年完成首台半导体光刻机SR-1,佳能则早在1970年就推出日本第一台商用光刻机PPC-1。
不过发展到采用193nm的干式光刻机的时候,日系厂商认为要继续研发使用波长更短的光源比如165nm,来提高光刻分辨率。
但是165nm波长的光线非常不稳定,研究了几年,大家都没进展。
转折点发生在2002年,当时时任台积电资深处长的林本坚,敲开尼康的大门。针对当时193nm干式光刻机遭遇瓶颈、下一代光源研发停滞的局面,林本坚提出颠覆性设想:在镜头与晶圆之间注入水,借助水的高折射率,一举突破当时被视为天堑的光源极限。
这就是后来著名的浸没式光刻机路线,但是被尼康拒绝了。尼康的代表当场质问林本坚:“如果水污染了镜头,你们台积电赔得起吗?如果气泡导致批量报废,这个责任谁担?”更重要的是,当时尼康已经在157nm干式光刻机上,投入七亿多美金。转而搞浸没式路线,之前的巨额投入将全部打水漂。
因此,后来林本坚找上ASML,制造出全球第一台以水为介质的浸润式光刻机,采用193nm波长,但等效于134nm,马上投入台积电的生产线上,效果非常好。2004年,ASML浸没式光刻机问世,横扫全球,尼康光刻机市场的半壁江山被ASML直接拿走。
林本坚
后来,尼康也不得不选择跟进,也实现了量产用于生产7nm及以下制程的浸润式光刻机,也就是DUV中的ARFI光刻机,但随着ASML的市场不断扩张,后来又推出高端EUV光刻机,尼康逐步被边缘化。
尼康在光刻机市场的失利,源于其在颠覆式技术敲门的时候,遭遇到了诺基亚式的困境,要采用新技术去颠覆原有的业务基本盘,这种对旧有根基利益难以割舍的守旧,最终让其错失了技术大潮。
而从外部因素来看,尼康如今的现状,也与它比美国更积极的制裁中国有关。
要说全世界对光刻机需求最大的国家,那无疑是中国了,在ASML一家独大的时候,尼康想要做大市场,跟中国合作才是出路。而且美国对中国的光刻机管制主要是盯着ASML,并没有严格要求日本的尼康与佳能遵循禁令。
但是日本却主动积极的加入到制裁中国光刻机的进程中,比如2023年3月,日本政府就宣布对包括光刻机在内的23种半导体设备实施出口管制,从光刻机到光刻胶层层加码限制对中国半导体设备出口,2024年4月,日本更进一步,把GAAFET(全环绕栅极晶体管)等先进技术也纳入管制范围。
日本主动加码制裁中国,最终也进一步成全了ASML。我们看到,尽管美国对ASML步步紧逼,但ASML多次声称荷兰不会一比一照搬美国措施,多次表态努力减少出口限制造成的影响。在NXT:2000i及以上浸润式设备的出口被限制之前,ASML也紧急向美申请了4个月的限制豁免期,放行光刻设备,对我方加紧出货。
2024年9月加紧了出口许可规定,对NXT1980Di之后的DUV设备实行逐案审批,不过老款和中低端机型还是能照卖不误。
而中国市场的业绩也支撑了ASML销量的半壁江山,尼康眼睁睁看着订单几乎全部流向ASML。
另外值得一提的是,之所以尼康也无法做出EUV与ASML竞争,是因为美国不仅对中国出口管制,还对尼康佳能这两大日本光刻机巨头竖起高墙,ASML接到了英特尔、三星、台积电的首次大规模战略投资后,就建起了自己的 EUV联盟,捆绑英特尔、三星、台积电,集结德国蔡司镜头、美国Cymer光源等成员。而曾在芯片上吃过日本大亏的美国,以国家安全为由,将佳能、尼康排除在EUV技术联盟外。
可以说,尼康即被美国封锁了获取顶尖技术的通道,又主动去加码制裁中国,封锁获取中国市场的销售通道。可以说,尼康混到今天,一切是咎由自取。
尼康如今业绩大跌,意识到,自己都快活不下去了,中国市场可能是尼康的救命稻草了,如果再不抓住中国市场,尼康的结局可能只剩下倒闭这一条路了。
而且尼康认为自己的机会,恰恰在于被美国封锁技术,被排除在EUV技术联盟之外,因此它的一些光刻机,是没有采用美国的技术,所以不受影响,在中国市场,恰好是不受美国出口管制的影响,尼康有很大的操作空间的。
但是尼康现在才意识到这一点可能已经有点太迟了。因为中国目前的状态,显然是要自主全力攻克浸润式DUV光刻机的,而且国产设备的替代速度也在加快,阿斯麦的报告显示,中国市场占了它销售额的42%,中国对进口设备还有依赖,但像SSA600这种国产设备已经能用在90纳米的生产线上。日媒曾经也说过,中国可能会成为荷兰与日本之后,第三个独立制造光刻机的国家。
而且尼康过去的所作所为,让中国市场很难对它有完全的信任。加上荷兰媒体曾爆料,中国现在已经囤了足够的DUV光刻机,用5~10年都没有问题,5~10年后,中国国产浸润式DUV光刻机大概率已经实现量产了,尼康还有多少机会?机会已经被它提前葬送了。昔日霸主,如今只能在夹缝中艰难喘息求生,吞下傲慢与封闭的苦果。