央视上月播了ASML那台180吨重的EXE:5200B光刻机拆运全过程,连真空舱门怎么校准都拍得清清楚楚。不是炫技,是把以前捂着盖着的东西全摊开给你看。同步看到的是ASML财报:中国区营收从2025年占全球三分之一,掉到今年一季度只剩不到五分之一。
设备越捂越紧,市场反而掉得越快。这说明什么?说明别人卡脖子的手,可能正把自己手腕拧脱臼。
以前说造不出EUV,是因为光源得靠上海光源那种庞然大物,一个厅那么大,还得国家专门建加速器。现在浙大的实验室里,一台冰箱大小的装置,能稳定输出EUV波段光,不是闪一下就灭,是能连续打几十小时不飘移。关键不是“做出”,而是“能用”——后面镀膜、检测、光学系统测试,全靠这束光来验。
上海微电子的28nm DUV光刻机,去年底送到中芯国际天津厂,今年上半年已在产线上跑满三班。国产芯片厂用它做汽车MCU、工业PLC、电源管理芯片,良率压在98%以上,套刻精度2.5纳米,比ASML早年同类型机器还强半格。这不是“能用就行”,是“比原来还好用”。
有人还喊“28nm落后”,可现实是:中国80%以上的芯片需求,根本不需要3nm。要的是车规级稳定、工厂里扛灰尘、电网波动时照样干活的芯片。这些芯片不用挤在最尖端产线上,它们自己撑起一条完整产线——从光刻胶到掩膜板,从离子注入机到刻蚀设备,国产率已超八成。
华为新出的昇腾910C,里面四块芯粒叠在一起,RISC-V CPU、AI加速器、高速IO、内存控制器,各干各的活,用的是28nm基底+先进封装。这不是退而求其次,是换了个算法算算力:不比单颗芯片塞多少晶体管,比同样功耗下,一整块封装能干多少活。
长电科技的封装线,国产设备占六成以上;通富微电自己设计的热压焊头,换一次能干两周不停机;连最头疼的硅通孔(TSV)刻蚀,合肥芯碁的设备也进了产线验证阶段。
西方还在算“我们领先几年”,中国这边,浙大的光源、上海微电子的光刻机、华为的封装,三件事之间没有谁等谁。它们像三股同时涌出的水,在没画图纸的地方自然汇成一条河。
ASML中国销售最近会议纪要里有句话:“客户订的不是机器,是要能流片、能卖货、能回款的整条线。”这话挺实在。
富凯说“中国落后五年”,温宁克说“十年也追不上”,但财报不会撒谎。市场份额掉了,不是因为中国没买,是因为厂子不需要再买了。
封锁的墙砌得越高,墙根下的野草长得越密。
28nm不是终点,是第一块真正属于自己的地基。
桌面光源、产线光刻机、芯粒封装,三样东西凑一块儿,才发现原来说的“卡脖子”,卡的不是某一个点,而是整条路的想象力。
现在厂里工人调参数不查英文手册了,改看中文接口;工程师交接班,拿的不是进口设备维修包,是上海微电子自己出的排故图谱;连大学实验室打样,也不用排队等国外光源机时,自己接上电就能做。