2026年开年,围绕光刻机的国际博弈骤然升温。荷兰在3月宣布大幅扩大对华出口管制范围,美国紧接着抛出号称"史上最严"的MATCH法案,打算把整个成熟制程设备也一并锁死。然而中方的回应没有丝毫含糊——底牌已然亮明,态度一个字:不退。这场围堵与反围堵的博弈,让全球半导体产业链上的不少国家和企业都坐不住了。
2026年3月,荷兰修改了出口管制规定,连28纳米、45纳米甚至部分65纳米的机型都给框进去了。过去几年管制是一步步收紧的——2023年9月1日生效的法规将限制范围从EUV扩大到部分DUV光刻机,2024年9月6日进一步扩大DUV管制范围。
到了2026年,可以说口子收得只剩下十年以上的老旧型号了。而且这次不只是不让卖新机器,已经卖出去的设备,后续维修、零部件供应也在收紧范围之内。
荷兰为什么挑这个时间动手?因为大洋彼岸在催"交卷"。2026年4月2日,美国参众两院跨党派议员正式提出MATCH法案,全称《多边硬件技术管制协调法案》。这个法案的"狠"不在于限制了多少新品类,而在于改变了整个管制思路。
法案覆盖DUV光刻机、刻蚀机等关键设备,管制覆盖设备全生命周期的交易、使用、再出口与维护。简单讲就是,以前只是不让你买新设备,现在连你手里已有机器的维修、校准、零件更换,都想管起来。法案还要求盟国150天内协同对华管制,如果逾期未能达成一致,美国拟依据扩大版外国直接产品规则(FDPR)单边执行。
到了4月22日,美国众议院外交事务委员会正式通过了这项法案。动作之快,显然是有备而来。
管制升级的影响,首先冲击的居然不是中国——而是ASML自己。
2026年1月28日,ASML发布2025全年财报,全年净销售额达327亿欧元,净利润96亿欧元,新增订单金额创历史新高。按说业绩漂亮得没话说,但偏偏是同一天,ASML宣布裁减约1700个职位,主要涉及技术部门与IT部门,约占公司总员工数的4%。一手刷新业绩纪录,一手大规模裁人,这在公司历史上极为罕见。
管理层的解释是要"精简组织架构",但内部员工显然不买账。3月25日,ASML总部所在地费尔德霍芬有超过4500名员工举行了罢工抗议。
ASML在中国市场的份额正加速缩水。2025年中国大陆市场贡献了ASML全球销售额的33%,而ASML在今年1月曾公开表示,预计2026年中国市场的营收占比将回落至20%。
今年一季度ASML财报出来后,中国大陆占比降到了19%。从2024年巅峰期近半壁江山,到现在不足两成,下滑速度之快,足以让任何一家公司的管理层冒冷汗。
更让ASML头疼的是,公司甚至开始考虑"搬家"。ASML认为荷兰本地基础设施跟不上需求,住房贵,交通堵,电网负荷大,扩张起来卡壳。2025年5月,ASML正式宣布在法国建设先进光刻研发中心,第一批数百名核心工程师已启程赴法。
荷兰政府前后投了200多亿欧元想留住这家"国宝级"企业,但人家还是在一步步把核心团队往外挪。ASML内部的判断很清醒:一边要配合华盛顿的指令,伤害赖以壮大的中国目标市场;另一边荷兰本土政策又不断挤压所需的人才资源——两头夹击之下。
日本的处境同样不轻松。日本是全球半导体设备供应链上的重要一环,而中国恰恰是其最大的单一买家。MATCH法案要求日本也必须在规定时间内对齐美国的管制标准,这对日本设备企业形成了巨大压力。
2026年1月6日,中国商务部宣布加强对日本两用物项出口管制措施,禁止所有两用物项向日本军事用户或军事用途出口。中方还首次加入了"长臂管辖"条款,意味着通过第三国转口获取中国关键材料的路径也被堵住了。对日本而言,半导体设备是出口的支柱产业之一,一旦全面跟进美国管制,丢掉的市场可不是小数目。
那么问题来了:面对层层加码的封锁,中国到底有没有扛得住的底气?
海关总署在3月公布的一组数据给出了一个出人意料的回答。2026年1月和2月,中国集成电路出口额达到3046.7亿元,同比增长68.9%。对比2025年同期,集成电路增速从11.91%跃升至72.6%,高端制造领域增长动能显著增强。
封锁年年加码,出口反而越跑越快,这个反差耐人寻味。工信部数据显示,2025年中国集成电路产量达4843亿颗,成熟工艺芯片国产化率接近45%,正稳步向2026年55%的目标迈进。
国产光刻机方面的进展更是外界关注的焦点。2026年3月25日,上海微电子在第33届国际半导体展览会上首次允许观众近距离拍摄其28nm浸没式DUV光刻机。
产业链消息证实,SSA800系列良率从90%跃升至95%,生产成本较ASML低40%,国产化率85%以上。到了4月下旬,更进一步的消息传来——上海微电子正式宣布SSA800系列全面量产,已进入中芯国际、华虹等头部晶圆厂的产线终验长测。
28纳米不是最尖端的制程,但它覆盖的应用场景极其广泛。大部分传统应用场景,诸如白色家电、汽车、工业控制等领域,并不需要追求极致的性能,使用28纳米以下芯片就足够了;而这些低制程芯片占了芯片出货量的6到7成。换个角度理解:守住28纳米这条线,日常生活中绝大部分电子产品的"芯"就不会断。
EUV方向同样有动静。2025年底,国内首台EUV光刻原型机在深圳完成组装,采用了国产光学系统,成功生成了13.5nm极紫外光,跑通了初步光刻试验。离量产还有相当的路要走,但能迈出原理验证这一步,已经意味着方向走通了。
零部件国产化方面,华卓精科的磁悬浮双工件台定位精度达到1nm,科益虹源把193nm的准分子激光器实现了量产。这些零部件看着不起眼,却是光刻机最核心的"咽喉"部位。
而中方手里还有一张重量级底牌没完全打出来——稀土。光刻机内部大量使用稀土材料,从精密马达到激光器到聚焦系统,都离不开这种原料。中国控制全球90%的中重稀土精炼产能。
2025年10月9日,商务部一口气发布多项稀土出口管制公告,力度空前。商务部公告2025年第61号将许可义务延伸至境外,对含有中国稀土成分且价值比例达到0.1%及以上的境外制造产品,都纳入了许可管理。这套规则的覆盖面极广,被业内称为中国版的"长臂管辖"。
不过,在中美吉隆坡经贸磋商之后,中方2025年10月9日公布的相关出口管制等措施暂停实施至2026年11月10日。稀土这张牌暂时收了起来,这体现了中方以谈判解决分歧的诚意。
但值得注意的是,上述调整属于对既有管制措施适用节奏的阶段性安排,而非对相关物项受控属性或整体出口管制方向的实质性改变。相关公告均明确设定了具体的暂停期限,意味着有关管制工具仍处于随时可能恢复适用的状态。牌桌上的筹码还在手里,打不打、什么时候打,主动权在中方。
封锁越严,中国半导体产业自主化的速度反而越快。2026年一季度数据显示,中国半导体设备国产化率从2024年25%提升至35%。2025年底,国内晶圆厂新增产线采用国产设备的金额比例已达55%,比原定时间表提前一年跨越50%门槛。
ASML的CEO傅恪礼在一次公开场合说过一句大实话,大意是:把中国逼急了,等它自己搞出光刻机,说不定将来是中国反过来卖给我们。这话听着像玩笑,但背后的焦虑是真实的。一个拥有全球最大芯片消费市场、掌握九成稀土加工产能、并且正在高速推进设备国产化的国家,不是靠几纸禁令就能困住的。
全球产业链深度交织,单边封锁的后果,往往是搅乱整盘棋,伤人也伤己。谁先熬不住,时间会给出答案。