一台重达180吨、体积赶得上一辆校车的庞然大物,能在跨越大半个地球的运输路上不被任何人察觉,悄悄"飞"到中国?这个画面光是想一想,就足够让人发笑。
可偏偏就是这么离谱的剧本,最近被美国商务部一本正经地搬了出来。美方指控阿斯麦违反由其主导的出口管制规定,让一台最先进的EUV光刻机流入中国,但华盛顿方面始终没有向阿斯麦或外界出示任何能够支撑这一指控的证据。
而且他的判断很干脆:EUV光刻机,中国不光能造,造出来还得是白菜价。
阿斯麦这次为什么火气这么大?看它甩出来的数据就明白了。
阿斯麦还能够自动检测整个EUV机群的"任何中断、异常行为或连接丢失",客户由于专门的搬运程序,未经阿斯麦参与无法移除、运输或重新安置EUV系统。换句话说,每一台机器在哪儿、是开是关、有没有挪窝,阿斯麦在荷兰的总部看得清清楚楚。
这话听起来是在跟美方解释,实际上是在自保——一旦被坐实违规,几十亿美元的罚单分分钟就到。阿斯麦也不傻。
公司预计2026年总收入中约有20%将来自于已经获得许可的对华销售,再加上前几年中国市场曾经占到它全球营收三分之一以上的份量,为了一笔根本拿不到的非法订单去赌掉整个中国市场,这种买卖任何一个正常的董事会都不会同意。那美方到底图什么?
项立刚的判断戳到了要害。这边在调查阿斯麦,那边美国商务部却另有动作——同意向初创公司xLight注资最多1.5亿美元,该公司正研发可能挑战阿斯麦EUV核心技术的新一代光源技术。
此外,与特朗普政治圈有长期渊源的Peter Thiel也支持另一家初创公司Substrate,目标是直接竞争阿斯麦的EUV技术。一手压荷兰人、一手扶自家挑战者,再借机为可能到来的中国突破造舆论,这盘棋下得并不高明,但意图实在太明显。
项立刚敢下这个判断,不是嘴硬,是因为国内的进度真的在追上来,而且追得比很多人想象的快。最让圈内人睡不着觉的,是光源这关被啃下来了。
中国科学院上海光学精密机械研究所林楠研究员带领团队,绕过二氧化碳激光,使用固体激光器技术成功开发出LPP-EUV光源,已经达到国际领先水平。
这事的意义在于,过去全世界做EUV光源都得走二氧化碳激光这条路,唯一的供应商美国Cymer卡得死死的。现在中国人换了一条道走通了。
实验数据显示,当激光峰值功率密度逐渐升高时,团队实现了高达3.42%的能量转换效率,处于国际靠前水平。更聪明的,是中国压根没跟阿斯麦在同一条赛道上死磕。
国内选了一条叫LDP的路子——采用激光诱导放电等离子体即LDP技术,让电极间的锡材料汽化,再通过高压放电将其转化为等离子态,电子与离子激烈碰撞最终激发出13.5纳米极紫外光,与阿斯麦依赖昂贵复杂高能激光器轰击锡滴产生等离子体的LPP路线截然不同。
采用LDP技术的原型机展现出设计更简洁、结构更紧凑、能耗显著降低、制造成本优势明显的特点。这个思路就像高铁选择电力驱动而不是死磕燃油动力,路径不同,反而能甩开对手的专利封锁。
整机层面也不是一家在单打独斗。中国自主研发的EUV光刻机预计第三季度进入试生产阶段,采用激光诱导放电等离子体LDP核心技术。
集成商层面,上海宇量升科技、新凯来等初创企业自主研发国产先进EUV光刻机,上海微电子与华为共同研发EUV光刻机,有望2026年实现国产EUV光刻机量产。
哈工大、长春光机所、上海微电子各管一段,华为和新凯来深度参与,几千号研发人员被拧成一股绳——这是过去搞两弹一星才有的阵仗。更有意思的是,阿斯麦自己也开始松口了。
在投资者电话会议上,阿斯麦首席财务官戴厚杰表示,中国进行的光刻机替代相关技术进展已有耳闻,中国确实有可能制造出EUV光源。垄断者亲口承认"对方真的能造出来",这种话是不会随便说的。
到了讲价格的环节,很多人还是将信将疑。一台EUV卖一亿多美元的天价,凭什么中国一上手就能打成白菜?答案藏在阿斯麦自己的账本里。
2024年全球光刻设备市场规模达295.7亿美元,预计2029年将达到378.1亿美元。全球光刻机市场被技术领先的企业垄断,阿斯麦占比61%。
EUV最早问世的那几年,阿斯麦几乎一台都卖不动,全靠DUV的现金流养着,要不是市场后来被台积电、三星撑起来,这个项目早就被董事会砍了。正因为阿斯麦的盈利模型这么脆弱,它才最害怕中国造出EUV。
不是怕丢一两个客户,是怕全球价格体系被打穿。这就解释了为什么阿斯麦不仅自己不卖给中国,还要拼命防着别人转运——一旦白菜价时代到来,它过去十几年的高溢价红利就全没了。
而打穿价格,恰恰是中国制造最擅长的事。DUV这一边的剧本已经在上演。
受国产28nm DUV光刻机冲击,阿斯麦DUV光刻机在华市场份额持续下滑,2025年第一季度阿斯麦在华销售额同比下降23%,上海微电子国产光刻机订单量激增300%。
从圆珠笔尖的小钢球,到盾构机、到光伏组件、到新能源车的动力电池,凡是中国造出来又有大市场托底的东西,最后没有一样不是被打成了"白菜"。当然,话也不能说满。
光源功率、量产良率、光学系统的稳定性,这些工程化的硬骨头还得一块一块啃。从实验室原型到稳定出货的成熟机型,中间还有不短的路要走。
但产业规律就是这么硬——从"造不出"到"造出来"才是真正的天堑,从"造出来"到"做便宜"反而是中国人最熟悉的下半场。项立刚说"EUV光刻机也只是个设备",这话粗听挺狂,细品却是大实话。
设备从来不是神坛上的图腾,它只是技术、工程、市场三股力量拧出来的产物。这三样东西,今天的中国一样不缺。
阿斯麦的护城河看着深,可水位已经在悄悄下降。等到某一天国产EUV走下产线、装进国内晶圆厂的那一刻,这个行业的游戏规则就要换人来写了。而那一天,真的不远了。