荷兰外贸与发展合作大臣舍尔茨玛怕是没想到,访华结束才不到20天,中国自研光刻机就取得突破,而且能实现年内交付,让荷兰阻断中国发展的图谋,没有作用了。
据环球网7月29日报道,美媒援引知情人士消息称,一家总部位于上海、具有国资背景的企业,已正式启动浸没式深紫外(DUV)光刻机的小批量生产,计划2026年交付约5台,2027年将年产量提升至约20台,首批设备预计年内交付国内头部晶圆厂进行测试与产线导入。
据美国科技媒体《The Information》报道,这类芯片制造关键设备长期以来由荷兰供应商阿斯麦(ASML)主导。消息一出,阿斯麦美股股价盘中一度跌超8%,东京电子、尼康重挫超10%,韩国存储芯片板块被大幅抛售甚至触发熔断。
而无疑,一则未经中方证实的传闻,就引发了全球半导体产业链巨震,足以印证西方当下对中国科技突破的真实心态,用八个字来形容,那就是“风声鹤唳,草木皆兵”。
而这场震动的根源,是西方多年来精心构筑、却又日益心虚的技术封锁体系。早在2019年,在美国持续施压下,荷兰政府就不续发阿斯麦向中国出口EUV光刻机所需的许可证,阿斯麦从此再未向中国客户交付过EUV光刻机。2023年,荷兰进一步扩大管制范围,将部分浸没式DUV光刻机纳入许可要求。而到了2026年4月,美国国会抛出《MATCH法案》(硬件技术多边协调法案),试图将禁售范围从EUV扩大至所有型号的浸没式DUV,明确把多家中企等列入限制名单,甚至考虑切断已售设备的在华维修服务。
无疑,这是一道试图把中国彻底锁死在产业链低端的铁幕。阿斯麦CEO富凯在今年5月的比利时安特卫普科技活动上坦言:“如果把你放到沙漠里,告诉你再也没有食物来源,你要多久才能自己开垦出菜园?这是存亡问题。”他直言,在此基础上再收紧限制,只会倒逼中国加快自研替代,遭到市场反噬。
而荷兰政府的处境也极为尴尬。一方面,顶级EUV本身已被美国纳入战略技术管控,荷兰无法自主决定出口;另一方面,DUV是成熟制程的重要生产工具,中国市场是阿斯麦现金流的重要来源。
2025年阿斯麦全球销售额中中国市场份额已从41%降到33%,公司预计2026年将进一步降至20%。阿斯麦曾游说美国不要一刀切,但美国坚持强硬路线,因为受损的主要是欧洲企业,而不是美国企业。
所以阿斯麦陷入的两难:高端技术不能卖,成熟设备又舍不得放弃。但是还必须依赖中国市场的装机规模,和长达十几年的维护服务收入,这也是荷兰大臣7月初访华的原因;但华盛顿的指令,容不得阿姆斯特丹讨价还价。
而过去多年,西方认为,全球光刻机由阿斯麦近乎垄断,中国无替代。但当上海那家国资背景企业启动浸没式DUV小批量生产、首批5台设备即将交付头部晶圆厂的传闻流出,这份“不可替代”需要打折。
一年5台、次年20台,对比阿斯麦2025年全球交付约131台浸没式DUV,短期冲击确实有限。但真正让西方“破防”的是:中国国产化时间表,第一次有了看得见的实物。国产浸没式DUV从单台样机测试,走向多台设备制造与多客户验证,意味着研发体系开始接近产业化交付环节。
这则传闻大概率属实,因为报道明确指出,该上海企业整合了多家本土半导体设备研发团队联合攻关,从研发线索看,这是过去一年多条技术路径延续的水到渠成,而非横空出世。
西方一边高喊公平竞争,一边不惜动用行政霸权、产业胁迫,对中国关键技术领域层层设限,试图将中国锁死在产业链低端。
况且,中国的研发每前进一步,他们就像念紧箍咒一样,又缩紧封锁一圈,而这也说明了他们确实很焦虑,如果真的对技术这么自信,就不用把目光聚焦在如何打击对手上,现在听到中国光刻机的突破,就坐立不安,也是咎由自取。
而更让西方如鲠在喉的,是这5台设备背后的产业链意义。要知道,中国半导体产业最痛的“短板”,一直以来就是光刻机,而西方也是自信的认为,中国有资金有设计,但没有制造设备,所以就能借此卡脖子,这一点在存储芯片领域尤为致命。
但他们没料到的是,一旦国产光刻机实现量产交付,就意味着中国存储芯片产业终于打通了“设备-制造-应用”的内循环闭环,这才是他们真正担心的,也是真正的系统级威慑。不过阿斯麦现阶段仍保持优势。纵观这些年西方国家对中国技术进步的种种反应,从当初的不以为然,嘲笑、轻视,到后来的焦虑、打压,再到如今的紧张焦虑,甚至杯弓蛇影起来,整套心理变化已经足够说明问题。
阿斯麦CEO富凯说,再收紧限制,只会倒逼中国加快自研替代。这不是客气,而是荷兰作为“中间人”被夹在华盛顿与北京之间的真实哀鸣。无疑,这次中国用行动再次证明,越打压,我们越强大,当年那么艰苦的条件原子弹,导弹,核潜艇……我们都造出来了,现在更不怕封锁,这个道理,西方不知道多久才会懂。