11月初，一批成都双流本土造的光刻机，就要从空港聚光光电产业园运往全国各地。这批设备订单总额已经突破1亿元，不少客户都在排队等着收货。生产这批机器的中特微，今年2月才把总部落户双流，车间内技术人员加班加点赶装配，设备主要供给光芯片、LED、显示半导体这些行业。
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很多人一提到光刻机，第一反应就是难度极高的EUV设备。国内这家企业没有硬挤这条竞争白热化的赛道，转头扎进接近式光刻机这个细分领域。过去这块市场基本攥在德国、日本、奥地利几家海外企业手里。以前国内不少设备只能在实验室演示效果，放到工厂量产就问题不断。海外大厂也不太愿意针对国内企业做定制化调整，留下市场空白。
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这家企业团队源自中科院，成立还不到五年。啃下UV‑LED平行光源、显微对位、精密运动控制三项关键技术。2023年实现4/6英寸设备批量生产，打破国外垄断。现在光显示细分市场，它的设备拿下大约80%份额，产品供给国内几十家头部企业。也是国内少有的可以给LED行业批量交付光刻机，还能进入8英寸MEMS、光通信产线的本土厂商。
企业计划明年把产能拉到300台，同时研发面板封装激光直写光刻机。新项目研发成功，就能把晶圆到面板级的光刻机全部补齐。企业选择落地双流，看重当地完整上下游配套、本地人才储备，还有相关政策扶持。空港科创集团还通过产业基金做股权投资，补上本地半导体装备产业链的短板。
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整个空港聚光光电产业园，已经聚集18家光电相关企业。其中包含多家专精特新和高新技术企业。双流整个光电产业产值已经突破660亿元。半导体装备不一定非要死磕最难的那条主线，找准细分缺口，踏踏实实做量产落地，同样可以闯出属于国产设备的一席之地。
埋头深耕细分赛道，也能跑出国产装备的新机会。期待更多国产设备走进国内工厂车间。
