“设备运行一切正常,生产并未中断。”SK海力士这句原话,像一盆冷水浇在刚准备恐慌的存储器市场头上。6月1日上午10点32分,清州第四厂区M15与M15X晶圆厂连接处的六楼气体机房突然窜出火苗。不到几分钟,这场火灾就被自动喷淋系统摁死在摇篮里,漂亮得跟消防演练似的。
厂区自动喷淋瞬间启动,明火转眼被扑灭。但真正的狠活不在灭火速度,而在SK海力士接下来的一系列操作:一边初期灭火,一边通知监管部门;一边把火场周边员工送医检查,一边组织3600人全厂疏散。整个过程踩着预案走,一副“我们为这点小场面演练过很多次”的淡定。
打开网易新闻 查看精彩图片
火灾中最让人后背发凉的物质是氟气。少量泄漏,足以让人心悬起来。但工厂立刻启用环境净化设备,13点38分就把残留气体清得干干净净。所有建筑经确认安全后重新开放,没有一起人员受伤,甚至那7位被紧急送检的员工,最后检查结果也全部正常。官方补了一句:“送医是前置防护,不是真的出事了。”
更让产业链松一口气的是,起火地点并非洁净室,也未波及核心产线。明火熄灭后,晶圆该跑还在跑,机台该转还在转。半导体制造最忌讳的就是断电和颗粒污染,而这场火灾一样都没碰上。翻看全局,与其说这是一场事故,不如说是一次应急体系的公开路演——自动喷淋、环境净化、全厂撤离、信息同步,每个环节都在告诉外界:我们防得住。
目前,SK海力士尚未公布起火原因,调查在进行中。但对于一家把安全预案刻进骨髓的企业,这次“零伤亡、零停产、零恐慌”的三零答卷,比任何声明都更管用。
热门跟贴