网易财经AI讯 中微半导体设备（上海）股份有限公司发布2025年年度报告。报告期内，公司主要从事高端半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售，开发的CCP高能等离子体和ICP低能等离子体刻蚀两大类设备已可以覆盖大多数刻蚀应用，已被广泛应用于国内和国际一线客户从65纳米到3纳米及更先进工艺的众多刻蚀应用。

2025年公司实现营业收入约123.85亿元，同比增长约36.62%。其中，刻蚀设备销售约98.32亿元，同比增长约35.12%；LPCVD设备销售约5.06亿元，同比增长约224.23%。公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，在先进逻辑器件和先进存储器件中多种关键刻蚀工艺实现大规模量产。

2025年公司实现归属于上市公司股东的净利润约21.11亿元，同比增长约30.69%；扣除非经常性损益后的净利润约15.50亿元，同比增长约11.64%；基本每股收益3.40元。业绩增长主要受益于营业收入增长带来的毛利增加约11.28亿元，以及公司持续高强度研发投入推动产品创新。

2025年公司研发投入约37.44亿元，同比增长约52.65%，研发投入占营业收入比例约为30.23%，远高于科创板上市公司的平均研发投入水平。2025年研发费用24.75亿元，同比增长约74.61%。此外，公司以公允价值计量且其变动计入当期损益的对外股权投资于2025年产生公允价值变动收益和投资收益合计约6.61亿元，较2024年增加约4.64亿元。

（本文内容均来自公司财报，不构成投资建议）