硅烷特气管道控制系统设计应该注意哪些因素|163

硅烷特气管道控制系统设计应该注意哪些因素
硅烷在高科技种应用越来越广泛，硅烷有什么作用，硅烷控制系统设计有哪些要求?这里将进行介绍。硅烷之所以在高科技中被广泛应用并且越来越重要, 首先是与它的特性有关，同时也与现代高技术的特殊需求有关。通过热分解或与其它气体的化学反应，
硅烷的作用
1、可由硅烷制得单晶硅、多晶硅、非晶硅、金属硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物质。
2、利用硅烷可以实现zui高的纯度、zui精细(可达原子尺寸)的控制和最灵活多变的化学反应。从而将各种含硅材料按各种需要制成复杂精细的结构, 这正是现代具有各种特异功能的材料和器件所要求的基本条件。

硅烷特气柜控制系统设计规范
1、硅烷由于其极其危险性，整套系统应该设置独立的惰性气体钢瓶进行吹扫，不得采用管道氮气吹扫;
2、应该配备惰性吹扫装置、气体泄露侦测器、火焰探测器等;
3、硅烷系统的排气管不得接入排风系统;
4、排气管应采用惰性气体连续吹扫，吹扫气体流速不得小于0.3m/s
5、排气的硅烷浓度较高时，应采用燃烧式尾气处理装置处理后排入大气。
关于特气管道安装
特气管道安装一般采用充氩气加热处理而成，EP管采用电解研磨方式加工而成。其内、外表面极其光亮。洁净管道的焊接除了要达到常规工业管道对焊缝的要求外，还要求焊接时管内、外表面不受污染，焊缝内、外表面必须与母材光亮度基本一致。
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