烟气CEMS的比对监测是保证烟气CEMS的数据质量，提高烟气CEMS数据使用效率的一个重要的外部手段；同时也是CEMS数据质量控制过程中最重要的末端控制环节之一。因此，针对烟气CEMS对比监测必须制定一套科学完备的、行之有效的内部管理质量保证和质量控制程序，以确保烟气CEMS比对检测的各项操作规范和比对监测取得的全部数据有效，提高比对监测数据的可靠性，进而能够真实、准确的反应目前再用CEMS仪器设备的运行使用状态和数据质量状态。

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烟气CEMS比对检测的全过程包括：

1.烟气CEMS比对监测前提条件：包括烟气CEMS的适用性检测、仪器调试检测、验收检测、运营维护、检测工作人员、参比仪器、监测方法；

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2.烟气CEMS比对监测准备工作：包括污染源情况考察、烟气CEMS基本情况、参比仪器的校准维护、安全防护和通信仪器、实施方案；

3.烟气CEMS比对监测现场采样和监测工作：包括烟气CEMS现场检查、颗粒物比对监测、气态污染物比对监测、烟气流速比对监测、烟气温度比对监测；

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4.烟气CEMS比对监测数据汇总处理分析；

5.烟气CEMS比对监测数据审核、报告和结果判定。