随着“中国制造2025”逐步推进以及“国家集成电路产业发展推进纲要”的颁布,国内开启了一波集成电路芯片厂的建设浪潮。众所周知,半导体芯片厂建设投资巨大,厂房基建、洁净室、大宗气体气站、厂务主系统、特气柜等气体盘面、一次配/二次配建设、半导体设备等投入较大,工期控制严格。作为其中重要的气体系统建设,也涉及众多复杂的施工安装调试环节,运营维护成本较高。

在工艺制程中,安全性是首要考虑因素,由于芯片厂内大量使用各类特殊介质(腐蚀性、毒害性、易燃易爆性特气和各类化学品),因而需采用技术先进、设备完善的阀门箱,根据实际需求将气体分路,同时供应多台设备用气,实现一分N路的装置。作为专业从事气体系统工程设计安装、技术服务咨询和配套产品生产销售为一体的国家高新技术企业,沃飞科技拥有专业的各类设计、研发、工程及生产施工人员技术人员,能够根据客户的个性化需求,从选型咨询、产品供应、技术支持、工程安装、用户培训、客户服务等,提供整套优质成熟的气体解决方案,为半导体芯片厂气体分配系统提供强劲的产品与技术支撑。

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沃飞科技创新推出的VMB阀门箱是一种内嵌多支路,实现高纯气体或液体分流的阀门箱。VMB能让高纯原料从单一来源被分配到多点应用。对于每个使用点,压力可被单独地调控,从而可同时满足不同应用的需求。它还可提供带外吹扫功能和真空抽气功能,因此操作人员能够在无危险气体泄漏的情况下安全地维护VMB的每一部分。除此以外,设备运行过程中能在不影响其它支路气体供应情况下,吹扫某一支路或对其进行真空抽气。

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其自动紧急远程切断、事故报警、泄漏报警对接,通风出口等配置和高纯阀件的合理选择与布局,既满足了半导体工艺生产过程中对高纯介质的连续供给和高纯度的要求,同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。目前已广泛应用于半导体、光伏、电子行业、医疗等生产领域中。

长期以来,沃飞科技始终秉承先进的经营理念,以质量谋生存、以创新求发展,凭借其技术优势和严谨负责的服务态度,在市场上积累了良好的业绩和口碑,在成为行业领先的专业系统集成服务商的道路上稳健快速发展,为半导体芯片厂气体系统建设提供了完善专业的解决方案,保障特气安全运行与管理。