简单的从2020年算起吧。2020年进口了12台DUV光刻机，2021年是13台，2022年一季度暴增到23台，二季度没查具体数据，但从ASML二季度对中销售额约5亿欧推算，大约7台，三季度就查不到数据了。加一下就是，12+13+23+7=55台DUV光刻机。

55台DUV换算的12寸晶圆产能是多少呢？一台DUV每天能处理大约能94片12寸晶圆，一个月就是2820片，那么55台就是15.5万片/月的产能。

一个晶圆厂约2～2.2万片的产能，那么15.5万片就相当于7～8个晶圆厂的产能。也就是说近3年中国备了至少7个厂的光刻设备。

当然还要考虑具体制程，如果是做28纳米，可以按上面的产能计算。如果做14纳米，按中芯95%的良率，打上95折，也有7个厂的产能，如果做7纳米，因为要多重曝光，而且良率极低，据说目前只有15%，那么推估一台DUV每天只能做7片12寸7纳米的芯片，要按2万片一个厂的产能算，如果以目前中芯的技术做7纳米，一个厂就需要118台DUV光刻机。所以中国目前做7纳米很不划算，除非大幅度提高良率，当然最好的办法就是用上EUV光刻机。