扫描电镜是一种高级显微镜，可以用来观察非常小的样品。然而，扫描电镜在成像过程中也存在一些像差，影响着成像的质量。了解扫描电镜的像差有助于我们更好地理解扫描电镜成像的原理，从而更好地利用扫描电镜进行科学研究。

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图1-有像差的图例

1.球差

球差是扫描电镜成像中最常见的一种像差。当电子束穿过样品时，球差会导致成像区域的焦距不同，从而使成像变得模糊。为了减少球差的影响，扫描电镜通常会使用球差校正器。

2.色差

色差是扫描电镜成像中另一种常见的像差。由于电子束的能量分布不均匀，会导致不同颜色的电子束在样品上产生不同的散射。这种现象会使成像的颜色出现偏差，需要通过色差校正器进行校正。

3.像散

像散是指电子束在穿过样品后出现偏转的现象。像散会导致成像区域出现模糊和扭曲的情况。为了减少像散的影响，扫描电镜通常会使用像散校正器。