使用闭式冷却塔对芯片光刻机进行降温有以下优势：

1. 高效率：闭式冷却塔采用高效的换热器和优良的通风设计，能够快速有效地降低芯片光刻机的工作温度，提高生产效率和加工质量。

2. 节约水资源：闭式冷却塔采用循环水系统，相比传统的水冷系统，大大减少了水资源的消耗。

3. 可靠性高：闭式冷却塔采用全封闭式设计，避免了外界环境对冷却系统的影响，同时也减少了冷却水的泄漏风险。

4. 维护简便：闭式冷却塔采用模块化设计，方便拆卸和安装，同时也降低了维护成本和时间成本。

5. 环境友好：闭式冷却塔的运行过程无需加入任何化学物质，不会产生环境污染。此外，其较低的耗水量也减轻了对水资源压力。

总的来说，使用闭式冷却塔对芯片光刻机进行降温不仅可以提高生产效率和加工质量，还可以节约资源、降低能耗、减少污染，是现代化芯片制造中的一种环保、节能、高效的技术手段。