CF法兰,全称Conflat Flange,是一种可拆卸的,能承受高温烘烤的金属静密封法兰,通常用于高真空和超高真空设备。

CF法兰的直径尺寸包括:16、40、63、100、160、200、250等,具体详见下表。适用的真空度高达10-12mbar。

CF法兰分为固定型和松套型两种。固定型法兰为一体化结构。松套型法兰由挤压铜垫圈的刀口部分和通过螺栓的固定部分构成。法兰上可开通孔或螺纹孔。开有通孔的法兰要通过螺栓和螺母固定;开有螺纹孔的法兰可直接使用螺栓固定。

法兰的内侧有凸起的锋利刀口,通过挤压无氧铜垫圈(或其他软金属)使其变形而达到密封真空的目的,是全金属材料的密封方式,被广泛应用于超高真空系统中。

CF法兰的特点是不分雌雄,包括无氧铜垫圈在内全部由金属构成,因此可以承受高温(250℃以上)烘烤。其缺点是价格高,无氧铜垫圈不能多次重复使用。