“光刻机第一股”终止IPO|华卓|微电子|清华大学|纳米

芯东西（公众号：aichip001）
作者 ZeR0
编辑漠影

芯东西7月4日报道，近日，上交所官网披露终止半导体装备企业北京华卓精科科技股份有限公司（简称“华卓精科”）的发行上市审核，原因是华卓精科及其保荐人撤回发行上市申请。

顶着冲刺“光刻机第一股”的光环，华卓精科闯关科创板之路一度备受关注，其IPO拟募资7.35亿元，用于半导体装备关键零部件研发、超精密测控产品研发中心等项目。

华卓精科在2020年6月24日申请科创板IPO，2021年7月29日首次上会遇暂缓审议，同年9月17日上会通过，但此后迟迟不见提交注册稿，直至今年6月26日终止IPO。

不止是华卓精科，今年迄今已有超过十家半导体企业终止科创板IPO，这份长长的名单还包括大连科利德半导体材料股份有限公司、得一微电子股份有限公司、合肥芯谷微电子股份有限公司、宁波奥拉半导体股份有限公司、杭州华澜微电子股份有限公司、上海芯旺微电子技术股份有限公司、苏州明皜传感科技股份有限公司、华羿微电子股份有限公司、青岛信芯微电子科技股份有限公司、山东华光光电子股份有限公司、北京晶亦精微科技股份有限公司等。

华卓精科成立于2012年5月，法定代表人是孙国华，任华卓精科总经理；实际控制人和控股股东是清华大学长聘教授朱煜，任华卓精科首席科学家。其核心产品为纳米精度运动及测控系统，该系统是光刻机的核心子系统之一，其性能对晶圆进行光刻时起到决定性影响，能极大提高光刻机的精度和生产效率。

在申报稿中，华卓精科称自己是“国内首家自主研发并实现纳米精度运动及测控系统商业化生产的企业”、“是国产高端光刻机龙头企业纳米精度运动及测控系统产品及技术开发的供应商”。

根据2023年12月披露的《关于北京华卓精科科技股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市申请文件第二轮审核问询函的回复》，上交所的回复材料显示：

（1）2017年至2020年9月，光刻机双工件台销量为0，2020年4月向上海微电子发货一台光刻机双工件台，尚未通过验收；

（2）2017年至2020年9月，公司收入构成中光刻机双工件台销售金额为1521.37万元、795.00万元、0万元、0万元，实际销售内容为技术服务与双工件台模块非双工件台本身；

（3）招股说明书披露公司主要产品包括光刻机双工件台；

（4）公司披露的主要产品收入构成包括精密运动系统、晶圆键合设备、激光退火设备等，但实际收入中同时包括产品销售与技术服务。

上交所要求对华卓精科严格按照实际销售情况介绍公司主营业务及主要产品，并要求华卓精科“若无公开客观、权威依据，删除公司的干式光刻机双工件台已达到或接近国际同类设备水平的表述”，最终华卓精科删除了干式纳米精度运动及测控系统已达到或接近国际同类设备水平的相关表述。

此外，问询涉及到华卓精科与清华大学共有技术，包括“2024年3月1日发行人与清华大学签署了光刻机双工件台技术转移与实施《技术转让合同书》，合同总金额为800万元及后续收益提成”。

上交所要求华卓精科披露与清华大学共有专利、专利实施许可、技术转让相关合同的条款、是否存在清华大学停止授权或授权第三方的风险，说明其产品和核心技术与清华大学的渊源、公司主要高管及核心技术人员的清华任职背景、目前存在与清华大学的合作研发项目等情形。

华卓精科对此的回复长达50多页。

根据回复，该公司与清华大学作为共同专利权人拥有的专利共计166项（其中5项专利有效期已届满），其中协议转让方式获取的专利115项、委托开发方式获取的专利30项、合作研发方式获取的专利21项，清华大学授权公司独占实施许可的专利1项。

2002年，清华大学建立IC装备研究室，主要从事超精密机械及测控领域的研究；2009年起，IC装备研究室承担国家科技重大专项纳米精度运动及测控系统样机研发项目，研究团队突破并掌握了超精密测控基础理论技术，开发出了纳米精度运动及测控系统研究阶段实验室原理样机，为华卓精科成立后开展纳米精度运动及测控系统产业化奠定了理论和技术基础。

2012年4月，在清华大学支持下，北京清华工业开发研究院与IC装备研究室核心团队共同协商决定设立华卓有限。

清华大学机械工程系IC装备研究室成员朱煜、徐登峰、张鸣、杨开明、尹文生、胡金春、穆海华、成荣通过华卓精密及艾西精创两个持股平台间接持有华卓有限股权，后于2014年通过股权转让直接持有华卓有限股权。

在华卓有限设立初期，IC装备研究室部分项目合同制人员在与清华大学解除劳动合同后加入了华卓有限的研发人员队伍。

截至问询函回复之日，清华大学人员在华卓精科处共5人，其中兼职人员5人，分别为朱煜、张鸣、杨开明、成荣、李鑫，华卓精科在技术研发和生产经营活动中均已建立了独立于清华大学的自有团队。