真空管式炉常见的炉膛材料主要有以下几种:

**1. 氧化铝**: - 具有较高的耐高温性能,能承受 1600 - 1800℃ 的高温。 - 化学稳定性较好,不易与大多数物质发生反应。 - 例如,在金属材料的高温退火处理中,氧化铝炉膛能够提供稳定的环境。

**2. 石英**: - 纯度高,能满足对实验纯度要求苛刻的条件。 - 热膨胀系数小,在温度变化时尺寸稳定性好。 - 常用于半导体材料的制备和一些需要高纯度环境的实验。

**3. 刚玉**: - 硬度高,耐磨性好。 - 耐高温,一般可承受 1700℃ 以上的温度。 - 比如在陶瓷烧制实验中表现出色。

**4. 莫来石**: - 具有良好的抗热震性能,能承受温度的急剧变化。 - 常用于需要频繁升降温的实验。

**5. 碳化硅**: - 导热性能良好,升温速度快。 - 高温下强度高。 - 在一些对加热速度有要求的实验中应用较多。例如,在进行高纯度硅片的扩散工艺时,通常会选择石英炉膛;而对于一般的陶瓷材料烧制,氧化铝或刚玉炉膛可能是较为经济实用的选择。