来源:制造界 作者:秀二
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1/中微公司,起诉美国国防部

2024 年 8 月 16 日,国产半导体设备大厂、刻蚀设备龙头企业中微公司宣布,已向美国法院正式提交诉状,起诉美国国防部将其列入中国军事企业清单的决定。

2024 年 1 月 31 日(美国东部时间),美国国防部根据《2021 财年国防授权法案》第 1260H 条,将中微公司列入 CMC 清单。此前在 2021 年 1 月 14 日,美国国防部也曾将中微公司列入涉军企业的 CMC 清单,不过在其提出申诉并提供充分证据后,于同年 6 月 3 日成功被移除。而此次美2024 年 国国防部再次将中微公司列入 CMC 清单。直接原因是,中微公司曾在 2019 年获得了由中国工信部参与颁发的刻蚀机系列产品 “制造业单项冠军产品奖”。

中微公司认为,该奖项只是一项荣誉,并非能够证明企业涉军。美国国防部做法是错误且毫无根据的。自被列入 CMC 清单以来,中微公司积极地同美国国防部进行沟通、澄清事实,提供了充分的证据证明其不符合 CMC 清单的认定标准,并要求将其从清单中移除。然而,截至正式起诉之日,中微公司 仍被列入该清单。

中微公司董事长兼总经理尹志尧称:“我们对美国国防部将中微公司再次列入涉军清单深表震惊。我们相信法院会作出一个公正的裁决,将中微公司从 CMC 清单中移除。同时,我们也愿意继续与美国国防部保持沟通,友好妥善地解决所存在的争议。”

2/加州参议员,警告拜登

在半导体领域,台积电亚利桑那州第二工厂的投产时间由原定的2026年推迟至2027到2028年。英特尔也推迟了作为补贴对象的俄亥俄州新工厂项目。半导体相关计划也因技术人员等人才的短缺而停滞不前。

在此背景下,拜登政府推动的供应体系与中国的“脱钩断链”计划可能也面临困难。分析人士认为,《芯片与科学法》和《通胀削减法案》提供的支持不足以支撑美国与中国“断链”。

据路透社 8 月 14 日报道,加州参议员亚历克斯・帕迪拉(Alex Padilla)和众议员佐伊・洛夫格伦(Zoe Lofgren)联合致信拜登内阁的商务部,信中表示:“我们要求你们暂停额外的单边出口管制,直到有充分的理由证明这些管制不会损害美国在先进半导体和半导体制造设备方面的竞争力。”

美国商务部对议员的这一行为颇为震惊,因为这是总统的政策决定,却遭到了议员的质疑。不过商务部表示,已按照流程通知了 拜登,等待他的答复。

报道称,此前拜登政府计划进一步收紧对华芯片出口限制,预计将于 8 月颁布新规定,批准美国对其他国家进行 “额外管制计划”,届时中国的芯片如果被其他国家进口,很可能失去和美国做生意的机会。而议员们此次挑战该法案,并非是为了中国考虑,而是在尝试维护自身利益,管制政策损害了不少美国企业的利益,企业向议员施压,且议员的选票和企业挂钩。此外也有评论认为,议员们警告拜登,打压中国的同时不能损害关联方的利益。

3/再说一下,尹志尧

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刻蚀机与光刻机并称为芯片制造的两大核心设备。中微公司在刻蚀机领域取得了显著成就,其产品已应用于全球先进的生产线。

尹志尧 在半导体行业前沿领域是学术精英、技术专家、领军人物。其个人在半导体行业拥有 86 项美国专利和 200 多项各国专利,被誉为 “硅谷最有成就的华人之一”。全世界超过一半的刻蚀设备都有他参与领导和开发的身影。

2024 年 3 月 19 日,中微公司董事长、总经理尹志尧在 2023 年度业绩说明会上表示,中微公司绝大部分刻蚀设备的零部件已实现国产化,并且在很短的时间内将全面实现自主可控。预计在 2024 年三季度末实现 100% 的自主可控。

尹志尧堪称中国半导体领域的泰斗,他的一些观点和言论对于了解光刻机及中国芯片行业的发展具有重要参考价值。尹志尧在近期接受采访时称,本上在今年夏天左右,中国芯片将实现全产业链的完全自主可控,这也意味着包括光刻机等半导体设备以及光刻胶等半导体材料,我国都已经可以自主化。

他还提到在半导体设备方面,目前暂时没有看到什么发展瓶颈,接下来中国芯在光刻机等领域的技术水平还会有不小的提升和发展。此前也有一些国内的研究院、高校透露出了关于国产 EUV 光刻机核心零部件技术突破的相关消息。尹志尧认为,国产光刻机在离子注入和电子束领域仍存在短板,有待补齐。

尹志尧,1944 年出生于北京。1967 年,尹志尧毕业于中国科技大学化学物理系,之后在石油化工部和中科院工作,负责催化剂产品的研究。1978 年,他考入北京大学化学系,并于 1980 年获硕士学位。同年,他前往加利福尼亚大学洛杉矶分校留学,仅用三年半时间就获得物理化学博士学位。

1984 年获博士后,尹志尧进入 英特尔 研发中心应用开发部,参与关键半导体设备的研发。1986 年,他加入 Lam 公司,主导研发了彩虹号 氧化物 刻蚀机。1991 年,他加入应用材料公司的等离子刻蚀事业群。2000 年,他成为该事业群总经理,负责 16 亿美元的生意。在硅谷工作的二十年里,他参与并领导了国际几代等离子体刻蚀机的研发,成为微观设备领域的 “最强大脑” 之一。

尽管在国外有着优越的生活和辉煌的成就,但尹志尧心中的爱国情怀始终炽热。2004 年,已经 60 岁的他,在时任上海市经委主任江上舟的邀请下,毅然回国创业。面对 江上舟“我们能不能自己把刻蚀机造出来” 的询问,以及 “哪怕豁出命去,也要为国家造出刻蚀机” 的决心,他带着 15 人专业团队回到上海,创办了中微半导体设备公司并担任董事长兼总裁,主攻薄膜制造设备与等离子体刻蚀设备。

中微开发出的生产 7nm 到 5 纳米器件的设备,已与世界最前沿技术比肩。中微的等离子体刻蚀设备应用于国际先进的 14 纳米、7 纳米和 5 纳米生产线,短时间内就让我国突破了国际刻蚀机的技术垄断。

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