工信部公布了重大技术工业设备推广目录:氟化氩光刻机
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·北京
近日,工信部发布《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》。
根据中国政府网微信公众号显示,重大技术装备是国之重器,事关综合国力和国家安全。中国首台(套)重大技术装备是指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品,包括整机设备、核心系统和关键零部件等。
而根据《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》显示,在电子专用装备目录下,集成电路设备方面:氟化氩光刻机,光源193纳米,分辨率≤65nm,套刻≤8nm。
(综合:工信部官网,中国政府网)
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