1．自动喷水灭火系统
目前，自动喷水灭火系统已成为洁净厂房消防系统的首选配置。设置在洁净室或洁净区的自动喷水灭火系统，宜采用预作用自动喷水灭火系统。自动喷水灭火系统的设计应符合现行国家标准的《自动喷水灭火系统设计规范（2005年版）》（GB50084-2001）的要求，其喷水强度一般不宜小 于8.0 L／（min.㎡），作用面积不宜小于 160㎡。

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2．其他灭火设施
洁净厂房内设有贵重设备、仪器的房间设置固定灭火设施时，除设置水灭火系统之外，目前较为广泛使用的还有二氧化碳、IG541、三氟甲烷等洁净气体灭火系统。

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二氧化碳具有毒性，使用不当会使人窒息，不能用于有人的场所，而且其冷却作用较大，对精密仪器会产生一定影响。 IG54l 气体灭火机理为物理灭火，灭火较慢，它的储存压力较高，被保护的区域较大，但钢瓶的用量多，钢瓶间储存空间较大，而且对系统管网要求高，计算复杂。七氟丙烷气体灭火机理为化学灭火，灭火较快，一般输送距离不宜大于35 m，但被保护对象体积较大时，需配置 2 套系统，会增加投资造价。综上所述，在洁净厂房存放贵重设备和仪器、物料的洁净室设置气体灭火系统时，不应采用会导致人员窒息和对保护对象产生二次损害的灭火剂，应进行方案比较，选择最合适的系统设计。