手动探针台是一种辅助执行机构,测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台上,在显微镜配合下,X-Y移动器件,找到需要探测的位置。适用于对芯片进行科研分析,抽查测试等用途。那么手动探针台的使用方式是怎样的呢?下面就跟随键德测试测量小编一起来看看吧!
手动探针台的使用方式:
1.将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。
2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。
3.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。
4.显微镜切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调显微镜聚焦和样品x-y,将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。
5.待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢,以防动作过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针退后少许,再使用Z轴旋钮进行下针,最后则使用X轴旋钮左右滑动,观察是否有少许划痕,证明是否已经接触。
6.确保针尖和被测点接触良好后,则可以通过连接的测试设备开始测试。
综上所述,就是手动探针台的使用方式了,手动探针台广泛应用于科研单位研发测试、院校教学操作、企业实验室芯片失效分析等领域。一般使用于研发测试阶段 ,批量不是很大的情况,大批量的重复测试推荐使用探卡。
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