1．防烟设施
鉴于洁净厂房建筑结构封闭的特点，设置有效的防烟设施有利于保证火灾时人员的疏散。

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当疏散楼梯间布置在建筑的外墙侧，可以采用可开启外窗进行自然排烟。当疏散楼梯布置在建筑内部或楼梯间有洁净要求不具备自然排烟条件时，应设置机械加压送风系统。机械加压送风系统的设计应符合国家有关消防技术规范和标准。洁净避难区设置的机械加压送风系统一般利用新风空调机组进行加压，火灾时，维持避难区正压，正压值相对于相邻区域为 25-30Pa。
2．排烟系统

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丙类厂房中建筑面积大于 300 ㎡地上洁净室和建筑面积大于 200㎡ 的地下洁净室应设排烟设施。洁净厂房疏散走道应设置机械防排烟设施。
目前洁净室设计的排烟形式主要有上排烟模式、上排烟和下排烟相结合模式、利用回风通道设置排烟风机进行排烟形式、排烟风机兼作火灾时排烟形式。
洁净厂房每个防烟分区的排烟支管上均应设置排烟防火阀，排烟口采用常开型风口。排烟风机入口处设置280~C关闭的排烟防火阀，并与排烟风机连锁。为维持洁净室内部空气压力，服务于净化区域内的排烟系统管路上应采用低泄漏的排烟阀和排烟防火阀。排烟口宜采用低泄漏常闭型板式排烟口，在排烟风机入口处采用低泄漏常闭型排烟防火阀并能接受消防中心的信号自动开启阀体。
洁净室机械防排烟系统宜与通风、净化空调系统合用但必须采取可靠的防火安全措施，并应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016-2014的要求。