洁净厂房内各场所应配置灭火器，并应符合现行国家标准《建筑灭火器配置设计规范》（GB 50140-2015）的有关规定。

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灭火器的配置，其关键在于正确选择和使用灭火剂。灭火剂选择时，应考虑配置场所的火灾类型，灭火剂的灭火能力，对保护对象污损程度，使用的环境温度以及灭火剂之间、灭火剂与可燃物的相容性。在洁净室内通常不宜选用化学干粉灭火剂、泡沫灭火剂等灭火后会对工艺设备和洁净室环境产生一定污染和腐蚀作用的灭火剂。二氧化碳灭火剂灭火后不留痕迹．不污损、腐蚀保护物品，在洁净室内得到普遍使用。

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洁净厂房内应设置供人员疏散用的应急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道转角处应按现行国家标准设置疏散标志，在专用消防扑救口处应设置红色应急照明灯。