近年来,随着半导体制造工艺的不断精进,设备的高精密性日益凸显。然而,设备在高速运转过程中,容易受到外部环境振动的影响,进而导致数据失真甚至设备损坏。针对这一问题,华晨禾一(连云港)装备科技有限公司(简称“HST”)研发的隔振台,不仅能隔离高速运行时高频振动的影响,更能在设备负载压力变化时保持稳定的隔振效果。这使得该隔振台在半导体制造领域的重要性日益显现。

打开网易新闻 查看精彩图片

HST隔振台采用多音圈电机驱动系统,实现六自由度振动控制。同时,自主设计高精度传感器实现自动调平及实时振动状态监控,通过高效调整振动频率,确保最佳隔振效果。此外,该隔振台还具备优异的振动隔离性能,能将设备与振动环境完全隔离,大大降低设备受振动干扰的程度,从而延长设备使用寿命。

打开网易新闻 查看精彩图片

高精密设备以及精密仪器对环境振动的要求极为严格,轻微振动均可能对其性能及使用寿命产生严重影响,另外对稳态振动的耐受度极低,一旦受到稳态振动干扰,便可能导致仪器测量误差或设备损坏。所以在实际应用方面,HST隔振台凭借对环境振动的精确控制及降低,大幅度提升了产品质量及生产效益,由于其强大的振动隔离性能,能有效防止设备遭受冲击震动的损害,从而保障设备的长期稳定运行。

打开网易新闻 查看精彩图片

因此,为最大限度地保护此类设备,HST隔振台采取准零刚度隔振技术,尽可能减轻振动的影响。同时,也应该尽力避免强烈的冲击震动,因为这可能会破坏设备表面结构及内部元件,最终导致设备损坏乃至失效。HST也将始终秉持“让产品更可靠,让世界信赖华晨造”的理念,在力学环境与可靠性试验以及瞬态捕捉试验领域持续深耕。