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封装厂无尘车间建设规划方案是确保芯片封装过程中洁净度要求得到满足,保证芯片产品质量和可靠性的重要措施。一个高效、清洁、无尘的作业环境对于提高生产效率、降低维护成本以及保持产品质量至关重要。以下是合洁科技电子净化工程详细的封装厂无尘车间建设规划方案。

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一、整体布局与区域划分

无尘车间的整体布局需充分考虑工艺流程、人员操作及物流路线,避免污染。合理划分工作区域和缓冲区,便于定期的清理和维护。根据洁净度要求和工艺流程的不同,将无尘车间划分为不同的区域,包括晶圆接收区、封装区、测试区、包装区以及洁净辅助间(包括人员净化室、材料净化室、部分生活用室等)和设备区(含净化空调系统应用、电气室、高纯水高纯气室、冷热设备室)。

1、晶圆接收区:用于接收和初步处理晶圆,该区域应设有严格的洁净度控制,以防止外部污染。

2、封装区:是核心工作区域,需要高度洁净的环境,以确保封装过程中不受尘埃和微粒的影响。

3、测试区:用于测试封装后的芯片性能,同样需要较高的洁净度级别。

4、包装区:对测试合格的芯片进行包装,此区域虽然洁净度要求相对较低,但仍需保持一定的清洁度。

5、洁净辅助间:包括人员净化室、材料净化室等,用于人员和材料的净化处理,防止将外部污染物带入无尘车间。

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二、洁净度级别与空气净化系统

根据芯片封装的要求,确定各个区域的洁净度级别。通常使用ISO 14644洁净度标准来划分洁净度级别,如ISO 5、ISO 6、ISO 7等。不同的洁净度级别对应不同的颗粒浓度要求。

1、空气过滤系统:在洁净生产区域内安装高效的空气过滤器,如HEPA或ULPA过滤器,以过滤空气中的微小颗粒和污染物。根据洁净度要求选择合适的过滤器级别,并确保过滤器的性能和定期更换。

2、气流组织:合理设计气流组织,确保车间内空气的均匀分布和有效循环,减少死角和涡流现象。通过正压控制和空气流动控制,保持洁净生产区域内的空气流动和压力控制良好。

3、通风换气:设置适当的通风口和排风口,保持车间内空气的新鲜度。配置新风系统,保证车间内空气流通,减少异味和有害气体对员工的影响。

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三、墙面与地面设计

1、墙面设计:使用防水防尘涂料墙面,有利于空气净化和降低细菌滋生。采用轻质隔板将不同区域隔开,避免空气流动干扰。墙面材料选择无尘、易清洁的材质,如防尘墙板或抗倍特板等。

2、地面设计:选用耐磨、防滑、易清洁的地面材料,如环氧树脂地坪或PVC地板,保证地面易于清洁和维护。地面材料应具备防静电功能,以减少静电对电子产品的干扰。

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四、静电控制与温湿度管理

1、静电控制:采取静电控制措施,如导电地板、静电消除装置和防静电工作台等,以减少静电带来的颗粒吸附和干扰。保证设备和工作区域的静电控制良好。

2、温湿度控制:控制洁净生产区域的温度和湿度,以适应芯片封装的工艺要求。温湿度的控制对于精密封装工艺的稳定性和产品质量的影响很大。

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五、设备布局与材料管理

1、设备布局:合理布局封装设备和工作区域,确保设备之间的间距和通道的宽度符合操作和维护的要求。避免设备之间的交叉污染和操作障碍。

2、材料管理:建立合理的材料管理流程,包括材料的接收、存储、使用和处理等环节。确保材料的洁净度和追溯性,避免材料带来的污染问题。在作业区上流侧不应放置物品,回风口附近不要堆放物;送风孔板下不应堵塞和堆放物品,生产操作应在洁净工作台或气流的上游进行。

六、照明系统与电源配置

1、照明系统:采用无尘、低维护的LED灯具,减少积尘和更换频率。合理布置灯具,确保车间内光线均匀、无暗区,满足生产需求。设置应急照明系统,确保在紧急情况下能够迅速疏散人员。

2、电源配置:确保车间内所有设备的电源供应稳定可靠,配置适当的电源保护措施,防止因电源问题导致的生产中断和设备损坏。

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七、施工与验收

1、前期准备:进行场地勘查,明确空间布局需求和工艺流程。准备施工材料和设备,确保施工进度和质量。对施工人员进行安全教育和技能培训,确保施工安全和质量达标。

2、施工阶段:按照设计方案进行施工,包括墙体、地面、顶棚的装修和空气净化系统的安装。确保施工过程符合相关规范标准,保证施工质量。