在科幻小说《三体》中,给人留下深刻印象的场景之一莫过于“古筝计划”。由纳米材料制成的细丝,厚度仅头发丝的十分之一,可以在一瞬间将重达六万吨的巨轮切割为“面包片”。

纳米是一个长度单位,相当于一根头发丝的八万分之一。在人类肉眼看不见的微观世界中,纳米材料和技术能开发出靶向药、新型电池或更小的芯片,如今已在多领域发挥重要作用。时间拉回到18年前,2006年,在苏州工业园区管委会科技发展局任产业处处长的张淑梅记得,纳米产业处于发展初期,多数普通人甚至搞不清楚纳米和大米。

纳米技术是面向未来的前瞻性产业,投入大,成果产出周期长,且充满着不确定性。42岁的王旭光在2018年从中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所(以下简称“纳米所”)全职创业,带领人工智能实验室团队成立中科融合,研发智能3D视觉芯片,相当于机器人感知外界的“眼睛”,2021年公司第一款产品正式售卖,打破美国德州仪器DLP芯片在该领域长达几十年的垄断。“从2006年建纳米所这个‘厨房’、请‘厨师’、建‘饭店’,到开始卖东西,我们一共走了16年。这是一条正确却艰难的道路,决心很重要。”

这也是苏州工业园区纳米产业发展十余年的缩影。苏州工业园区像是“天使投资人”,在2006年押注纳米技术,2010年在全国率先把纳米技术应用作为区域战略性新兴产业,成立苏州纳米科技发展有限公司(以下简称“纳米公司”)进行产业运营和管理,建设苏州纳米城。张淑梅参与了纳米产业的规划,她坦言,大家早就做好了“坐十年冷板凳”的心理准备。

张淑梅如今担任苏州纳米公司董事长,回顾十多年的发展,她坦言园区从未因新兴产业的诱惑偏离最初的规划。这份高风险的“投资”也带来了丰厚的回报,苏州工业园区已经累计引进和孵化纳米相关企业超1300家,其中16家成功上市,2023年实现产值1550亿元,跻身全球五大纳米产业集聚区之一。

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苏州纳米城Ⅰ区。本文图/苏州纳米科技发展有限公司供

“只有开放,才能带动产业”

34岁的王旭光在2010年回国时,本可以去北京或上海的名牌高校做研究,但他几乎没有犹豫,选择留在了苏州,加入中国科学院苏州纳米所。彼时,纳米所成立仅4年,只有孤零零一栋楼,周围目光所及都是芦苇荡。王旭光曾在美国知名半导体公司AMD、硬盘公司希捷从事芯片研发设计,他回国的目标很明确,“希望做出的产品能解决产业问题,而不只是发几篇文章”。面试几家院所和高校后,只有纳米所明确表示支持科研人员创业。

在王旭光看来,园区与美国硅谷的氛围相似。他关注生活环境,苏州工业园区的环境好,绿化多,能实现“work life balance”(工作与生活平衡)。更重要的是文化氛围——老牌名校和研究所都有自己成熟的文化体系,但在纳米所,研究员普遍很年轻,绝大多数是“海归”,文化开放,“允许研究员创业,不能只听领导说支持,还要看文化能否支撑,这点很重要”。

纳米所是苏州工业园区纳米产业发展的起点。作为中新两国政府间的重要合作项目,苏州工业园区在发展的前十二年,吸引了大批外资企业。张淑梅回忆道,2006年时,园区为了平衡外资与内资,同时希望产业转型,决定在传统电子信息制造、装备制造业的基础上,探索科技创新。恰逢当时中国科学院启动知识创新工程三期工作,发力量子计算、纳米科技等前瞻领域的基础研究,纳米所被引入苏州工业园区,纳米科技成为园区重点产业发展方向。

时至今日,科研力量游离于市场之外,仍是困扰中国纳米产业发展的一个难题。在种下了纳米所这颗“种子”后,张淑梅记得,当时大家担心,如果纳米所不与产业紧密结合,只是一个纯粹的研究机构,将难以发挥其潜在的价值。从2006年起,纳米所便走了和其他科研院所不同的道路,联合苏州工业园区,把技术创新和成果转化摆在了重要位置。

2006年,从日本回国、在北京大学任教两年的徐科,是纳米所最早引进的高端人才之一,围绕氮化镓进行产业化研发工作——氮化镓是第三代半导体的代表,是5G通信、快充电源、电动汽车等高频、高功率器件的核心基础材料。2007年,徐科响应中国科学院加快科技成果转化服务地方产业发展的号召,在纳米所支持下,创业成立苏州纳维科技有限公司。2010年,公司正式推出自研的氮化镓晶片,多项指标处于国际第一方阵,成为全球第7家、中国首个具备氮化镓晶片生产能力和批量供货的公司。2017年,苏州纳维又在国际上率先生产出4英寸氮化镓单晶衬底,用户覆盖全球80%以上的研发机构和企业。

此外,纳米所在成立之初,便开始筹建纳米加工平台,2009年建成后投入使用,有1万平方米的洁净厂房,三百多台套大型设备。张淑梅强调,当时苏州工业园区与纳米所联手做的最重要的一件事,便是开创了纳米加工平台开放使用机制,“只有开放,才能带动产业”。此前,国内科研院所的平台多只供内部研究人员使用,园区设立专项补贴,引导平台向地方企业开放。

多位受访者提到,纳米所由此成了科研院所及中小企业创新孵化的摇篮。纳米所相关负责人也曾公开介绍,纳米加工平台每年支持数百家企业进行创新产品开发,合作的高校研究院所团队近200个。此后,纳米所又先后投建测试分析平台、生化平台、纳米真空互联实验站等公共技术平台。

江必旺是苏州工业园区纳米创业者的典型代表:一个背包客,手握顶级技术和专利,但没钱买大型设备、租厂房。2007年,刚从美国回来的他只身入驻园区,创办苏州纳微科技,成为苏州纳米产业的首批落地企业。他研发高性能微球材料的产业化:微球看上去像是白色面粉,实际却是微米纳米尺寸的球体,一克材料的表面积展开后可以覆盖一个足球场,是生物医药、电子工程等多学科应用的核心材料,长期依赖进口。当时,园区免费给江必旺提供办公室,位置便在纳米所对面。江必旺后来回忆说,纳米所的平台是公司发展的重要支撑, “每年只用十几万元的检测费,就解决了需要上千万元设备费用才能解决的问题”。

“这颗种子不是孤零零地长成一棵树,而是快速与周围的树连接,形成了一片森林。”张淑梅向《中国新闻周刊》描述。十八年间,随着纳米产业发展,纳米所周围早已高楼密布。2013年,纳米公司筹建的苏州纳米城首期正式投入使用,面积约1平方公里。在之后的十多年中,纳米所外溢的科研人员创业,大多数就留在了纳米城,同时,纳米所的平台也吸引外地企业入驻园区,成为产业集群的基础。

王旭光创办的中科融合,便是由纳米所孵化。他向《中国新闻周刊》介绍,借助纳米所的平台,相关团队在2016年取得重大底层技术突破,直接推动他在2018年独立创业,将MEMS激光扫描技术与人工智能结合,自主研发机器人的“眼睛”和“大脑”芯片。

“如今回头看,苏州纳米所早期布局的这些平台,相当于大厦的地基。如果没有这些平台,园区或所里引进的人才,花完经费可能就走了,但现在因为有这些平台,即便公司壮大,它还会把总部或科研团队留在园区。”王旭光说。

招商“吸铁石”

谈及苏州工业园区的纳米产业,绕不开MEMS。MEMS是一种智能传感器的制造技术,即利用半导体技术,制造一个微米纳米尺度的机械系统,可以将外界的物理、化学等信号转化为电信号,是连接虚拟和物理世界的一把钥匙。截至2024年,苏州工业园区已连续4年被评为中国“MEMS传感器十大园区名单”的榜首,被称为“中国MEMS产业第一园”。

苏州纳米公司建设的MEMS中试平台起到了关键作用。李寿祥在2012年加入苏州纳米公司,如今担任公司副总裁,曾参与MEMS中试平台的筹建。技术要从实验室走向市场,必须经历中试阶段,即较小规模生产,以验证技术和产品的性能。如今随着5G、物联网、智能机器人的发展,MEMS传感器正成为炙手可热的赛道,但在2011年左右,MEMS相较于集成电路还十分小众。

李寿祥记得,当时园区团队调研注意到,MEMS传感器芯片多是非标工艺,中试生产量小,台积电、中芯国际等大的芯片制造商通常不愿接受这些订单。纳米公司希望培养和孵化MEMS传感器芯片设计企业,“既然没人愿意帮助这些小微企业,我们就另辟蹊径,错位发展,自己做生产这个环节”。

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第十四届中国国际纳米技术产业博览会。

2014年,纳米公司投资约6亿元,建成了国内第一个全开放、商业化运作的6英寸MEMS器件研发、中试和批量化生产平台,填补了国内产业链空白,为中小型企业发展提供了必要支撑。

王旭光的公司也是MEMS中试平台的客户,他从办公室到平台,走路只用10分钟。在他看来,尤其是对于初创公司来说,与中试平台的物理距离近十分重要。中试环节也在业内被称为创业者的“死亡之谷”。不同于程序员跑程序,传感器芯片在中试平台流片,即制造出芯片样品,有二十多道工序,周期不是按天计算,而是以半年或一年为单位,算上人力和生产成本,费用有上百万元。“我们这行很残酷,一两次流片失败,投资人和客户就不会给你第三次机会,公司直接关门。”这需要创业团队时刻关注流片过程,每次发现问题便会暂停,王旭光带着团队快速赶到现场解决。

据MEMS中试生产平台相关负责人介绍,纳米城MEMS中试平台的工艺在2018年之后逐步成熟,能更快帮助企业流片,而且成功率也更高。截至目前,MEMS中试平台业务覆盖全国,目前已服务100多家企业、400多个产品,成为中国MEMS科技支撑最大的产线。

张淑梅直言,平台成了后续纳米城招商的“吸铁石”。2012年以来,李寿祥先后负责产业发展、科技招商、战略投资等工作,他指出,不同于传统工业园区的土地招商,纳米城更多是“资源招商”。他注意到,在MEMS中试平台建成后,开始有越来越多的企业会主动询问平台的配套政策。截至目前,纳米城孵化和引进的MEMS相关企业超过100家,也培育出敏芯、纳芯微、明皜传感等领军企业。据媒体报道,有地方也曾布局发展智能传感器产业,但因为没有建设MEMS中试生产线,最后沦为了普通的产业园。

纳米城比别的地方更早投建MEMS中试平台,也是园区对纳米产业前瞻性投资的一个缩影。十年后,先发优势逐渐显现。2022年左右,广州、深圳、郑州、合肥等地开建或拟建MEMS芯片产线,但在王旭光看来,纳米城的优势在于时间壁垒,“园区的MEMS中试平台至少领先中国其他平台5年”。

“就像锅好不好用,需要厨师上手炒菜,把握油温和火候。我们做半导体产品,需要花时间沉淀。早期业内企业选择少,大多会跟纳米城MEMS中试平台合作,平台能和这些早期客户共同成长,打磨工艺。”王旭光说。

产业链集聚,寻找新的增长点

过去三十年中,苏州工业园区借鉴新加坡城市规划的经验,形成了“先规划,后建设”“规划即法”的原则。苏州纳米城的快速发展,也是这一理念的沿袭。张淑梅说,从2010年起,园区提出纳米三年双倍增计划,之后每三年做一次纳米产业发展回顾,并预测未来几年发展目标。“做完规划后,我们只是在走的路径上稍有不同,但如今回头看,都是按照规划按部就班在推进。”

自2017年起,纳米城的产业集群效应开始显现。张淑梅指出,园区开始有选择性地聚焦微纳制造(MEMS)、第三代半导体、纳米新材料、纳米大健康等四大领域,成功引进和孵化了近1300家相关企业,到2023年产值超过1550亿元,并被选为“国家先进制造业集群”和“国家创新型产业集群”。目前,国家第三代半导体技术创新中心(苏州)的总部大楼正在建设中,预计建成后将覆盖第三代半导体的全产业链生产。

张淑梅强调,和其他传统创业孵化器、产业基地的差异在于,纳米城重视搭建产业链,目前已自成一个纳米产业生态社区,从科技创新、中试、小规模生产、成果转化、专利运营、产业服务、总部办公到综合配套,应有尽有。

李寿祥举例说,2012年时,在中新合作的背景下,纳米城有意引进胜科纳米落户苏州。此前,创始人李晓旻在2004年创立胜科纳米新加坡有限公司,已成为当地最有能力的第三方芯片分析公司之一。公司有“芯片全科医院”之称,能为园区半导体企业提供芯片分析测试、辅助研发等支撑服务,进一步补全产业链。

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国家第三代半导体技术创新中心。

徐科也曾感慨:“像我们经常去国外的人,北京、上海、广州、深圳跑了一圈,一到苏州基本上就落下来,为什么呢?”因为纳米城政策、产业不断完善,“做基础研究的、做应用研究的、做产业开发的、来创业的、做产品的,总能找到一个载体”,企业能在这里找到想要的资源、支撑的平台,创业成本是最低的。

近年来,苏州纳米城围绕泛纳米技术,也在积极引进新产业生态。2021年时,苏州吉天星舟空间技术有限公司(以下简称“吉天星舟”)落户苏州纳米城,核心团队来自中国光学摇篮——中国科学院长春光机所。刚到苏州时,团队只有三四个人,在纳米城租了一间会议室。经过3年发展,吉天星舟团队已有130多人,并获得了5000平方米的免租场地。今年8月29日,公司成功发射了自主研发的新一代光学遥感卫星,其搭载的新型光学相机,能实现“任意曲线非沿轨动中成像技术”以及“新型计算重构高几何高光谱成像技术”, 即遥感卫星能更灵活地获取特定区域的高分辨率图像,并提供比传统成像技术更丰富的信息,比如以极高的精度快速识别地面不同物体的类型,可用于环境监测、农业、地质勘探等领域。

此外,园区在2020年末引进了锂电回收企业苏州博萃循环。目前,该公司已为近十家能源领域的世界500强企业提供技术服务和工程设计。在德国、美国、新加坡等地设立了十几家子公司和办事处。李寿祥介绍,这些是纳米城有意招商布局的结果,新产业与纳米技术都有一定的相关性。更重要的是,这些公司在新赛道上技术领先、团队完整、市场前景广阔。园区对这些企业的孵化,未来有望带动更多产业链上下游企业的发展。

在王旭光看来,相比于移动互联网软件和算法,自主研发3D视觉芯片的优势在于,有更高的技术壁垒和更丰厚的潜在回报,“美国德州仪器公司仅凭DLP这一款垄断性产品,就在过去的30年中创造了近百亿美元的收入” 。然而,面临的挑战也很明显,硬科技领域的产品主要面向企业客户,尤其是在芯片行业。虽然中科融合已经与国内知名汽车制造商合作,进入规模量产,帮助降低生产线的劳动力成本,但由于保密协议的限制,公司隐藏幕后,企业知名度不高,这增加了市场快速拓展的难度。而对于芯片行业而言,只有实现规模化生产以降低成本,促进企业的持续发展。

2023年,苏州出台《苏州市纳米新材料国家先进制造业集群培育提升三年行动方案》,提出力争到2025年,集群产业规模方面产值突破2700亿元,集聚相关企业超1600家,培育境内外上市企业不低于25家,国家制造业单项冠军及“小巨人”企业不低于25家。

10月下旬,苏州工业园区刚刚举办了第14届中国国际纳米技术产业博览会,吸引了 2400多家纳米技术相关企业集中亮相,并邀请了20多位国内外院士、450余位政企及院校专家学者参会,成为中国规模最大、影响力最广的纳米技术交流大会。

穿梭于纳博会的各个展馆中,张淑梅发现今年有很多初创公司参与进来。“30年来苏州工业园区坚持一张蓝图绘到底,在产业领域同样如此。历经18年,从苏州纳米所落地到苏州纳米城投用,再到国家第三代半导体技术创新中心(苏州)建设运营,园区纳米技术应用产业步步攻坚。”张淑梅说。当前全球都在关心未来纳米之路在何方,如何真正把实验室的东西转化成产品,“今天参会的这些创新公司或许代表未来30年的希望”。

发于2024.11.18总第1164期《中国新闻周刊》杂志

杂志标题:苏州“纳米第一城”养成记

记者:杨智杰

编辑:闵杰