对于百级和千级芯片洁净车间,FFU布置率的计算通常涉及以下几个关键步骤和因素,具体就随合洁科技电子洁净工程公司一起来了解下吧!
一、确定洁净车间等级与换气次数
1、洁净车间等级:
百级洁净室:空气中允许的颗粒物数量和大小要求极高,通常用于制造集成电路等微电子行业。
千级洁净室:空气中允许的颗粒物数量和大小要求较百级稍低,但仍需严格控制,主要用于生产精品光学产品、测试装配飞机陀螺仪等。
2、换气次数:
百级洁净室:换气次数通常≥200次/h,一般情况下选择230次/h作为设计基准。
千级洁净室:换气次数通常在50~100次/h之间,一般情况下选择70次/h作为设计基准。
二、计算洁净车间体积
洁净车间的体积是计算FFU数量的基础,通常通过测量车间的长、宽、高来得出。
三、确定FFU的风量
FFU的风量是指其每小时能够处理的空气量,通常以立方米每小时(m³/h)为单位。选择FFU时,需要确保其风量能够满足洁净车间的换气次数要求。
四、计算FFU布置数量
FFU布置数量的计算公式为:
N=A×J/K
其中:
N为所需FFU数量;
A为换气次数;
J为洁净车间体积;
K为FFU的风量。
五、计算FFU布置率
FFU布置率通常指洁净车间内FFU的覆盖面积与车间总面积的比值。由于FFU通常是均匀布置在车间顶部的,因此FFU布置率也可以近似看作FFU数量与车间面积(假设每个FFU覆盖一定面积)的比值。然而,由于FFU之间存在重叠和边缘效应,实际布置率可能需要根据具体情况进行调整。
为了更准确地计算FFU布置率,可以考虑以下步骤:
1、确定FFU的覆盖面积:根据FFU的尺寸和布置方式,确定每个FFU能够覆盖的地面面积。
2、计算车间总面积:测量车间的长和宽,得出车间的总面积。
3、计算FFU布置率:将FFU的总覆盖面积(即所有FFU覆盖面积之和)除以车间总面积,得出FFU布置率。
需要注意的是,由于FFU的布置受到车间结构、气流组织、设备布局等多种因素的影响,因此在实际应用中,FFU布置率可能需要根据具体情况进行调整和优化。
综上所述,百级和千级芯片洁净车间的FFU布置率计算涉及多个因素,包括洁净车间等级、换气次数、车间体积、FFU风量以及FFU的布置方式等。在计算过程中,需要综合考虑这些因素,以确保洁净车间的洁净度和生产效率达到预期要求。
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