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您知道为什么干涉测量是最精确的科学测量工具之一吗?
一、干涉物镜使用原理
条纹干涉通过分裂和重组光来检测表面的纳米变化,所有这些都是在非接触的情况下进行的。
二、干涉测量无处不在
1、天文学:结合多台望远镜的光线,以超高分辨率揭示遥远的宇宙细节。
2、半导体和光学:检测芯片、透镜和薄膜中比病毒更小的缺陷。
3、生物学:无需染料或侵入性技术即可对活细胞进行成像。
4、地球观测:卫星使用InSAR监测几毫米的地面运动。
5、非接触式精度:非常适合易碎、柔软或微结构表面。
6、未来技术:构成了光学计算等新兴领域的基础,在这些领域,数据以光速进行处理。
这其中,我们可以用Sensofar的S neox 3D光学轮廓仪,通过干涉测量来检测比病毒更小的缺陷。
薄膜表面的缺陷是由于其表面颗粒对薄膜造成划伤导致的,从上至下分别是缺陷的水平方向尺寸、截面高度及3D图像。
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薄膜表面的二维图像
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使用100倍干涉镜头测量薄膜的三维轮廓图
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S neox 3D光学轮廓仪机器图
Sensofar的S neox 3D光学轮廓仪可实现高精度缺陷检测,从太空探索到纳米技术,从生物医学到智能手机,干涉测量显神通,Sensofar S neox让比病毒更小的缺陷无所遁形!
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