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这两天国产光刻机的新闻的议论铺天盖地,事缘数天前,工信部印发《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》通知,在重大技术装备列表中包含了国产氟化氪和氟化氩(ArF)光刻机(110nm-65nm);交付单位/供应商是SMEE。其中氟化氩光刻机,光源波长193nm,分辨率≤65nm,套刻精度≤8nm。

相信很多关心国产芯片(包括各种半导体、光刻机)发展的朋友,应该和我一样知道这是重大突破,但不知上述的数字在说什么,因为这里涉及太多专业的知识,当然,我可以通过两个方法去了解,第一是常识推理;第二是请教专家。

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第一的方法其实很简单,就是公布的方法、态度和心态。

如中国空间站-天宫空间站是100%国产而且还是世界数一数二,所以国家不仅给你直播,而且还多次、高调的给你直播。如果别国的太空人想到访中国空间站,那请你乖乖的学中文,乖乖的来申请,国家根据情况再决定给不给你用。

见到吗?高调、自豪、开放,因为中国真的是独立自主、领先世界。

又如超级电脑,中国基本上也完成了国产化,和美国并驾齐驱,所以中国欢迎交流,反对美国单边制裁。

态度平静、心态也开放,也不怕美国制裁,但不太让人看到了真貌。

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而今天中国的芯片突破还是语焉不详,如华为手机芯片到底是谁做的,要等到手机卖出去了,被西方媒体拿来拆解了才略知一二。

虚则实之,实则虚之,这种低调我们也可以推断100%国产还未完全实现,尚有一些地方还需要依赖外国技术,当然,华为敢出品自己芯片的手机,也代表100%国产已差不多了。

第二个方法,我直接问在美国从事芯片制造的朋友,他详细看了《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024 年版)》参数后,指「这个是DUV光刻机,并不是最先进的EUV,但如果是全国产的话,也是世上独一无二,因为强如美国也不是全国产,它也有日本和荷兰技术。」

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他从成本上算,指中国可以压缩成本,用DUV光刻机来勉强实现芯片制造自主,而且出来的芯片不会落后太多。

「这么说吧,7nm制程,EUV良率可以达到97%,DUV良率估计只有50%,EUV两次曝光可以完成,DUV可能要十多次。」

我计算了一下芯片制造的成本,DUV可能是EUV的两倍还要多。如在正常的半导体行业,如果芯片比别人贵一倍,基本上不可能有任何市场。

但是,美国政客真的是帮了中国国产芯片大忙,美国一制裁,国内企业宁肯多花钱也用国产芯片。如果不是美国歇斯底里地制裁,中国想要在国产DUV光刻机,可能需要十多年,而非现在的五年,

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所以今天哪怕DUV造出来的芯片成本是EUV的两倍,有也比没有强,不是吗?

我顺便问朋友:EUV的情况怎样了?

「目前没什么太多消息,我说过很多遍,EUV光刻机只看一个参数就行,那就是EUV光源发光功率有没有达到200W。达到200W哪怕是100W,都属于实质性突破。没有这方面的消息,基本上可以忽略。这玩意儿虽然所有的技术路线都是现成的,就是工艺上太多细节,耗时间、耗金钱。」

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我也知EUV光刻机国产化没那么容易,我去年在这里写文章,说再需要10年可以突破,也就是在2033年左右实现朋友提的200W功率。

现在看中国投入大量人力物力,极有可能比我预想得还要快,可能缩短到2028年前。人材和金钱已不是问题了,但时间即是加班加点,但终究没那么快。

最后,国产DUV光刻机正式官宣面世,有什么影响?

最大影响是台湾和韩国芯片企业将在五年内必大幅死亡。

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事实上,半导体行业是给中国度身定做的产业,中国有什么优点?大规模的基建、稳定的供电、数量多质量高的理工人才,稳定的社会环境,大规模的市场……

这些优点台韩都不是没有,但是和中国比相去极远,在市场规模冲击下,台韩半导体片甲不留的可能性极大。

我什至有预感,未来中国的核心产业之一就是半导体,而且可能在一百年内都是中国的龙头产业,吊打全世界。

文:悠然