大家都知道,ASML花了40年才把光刻机做到全球顶尖,几乎垄断了高端市场。
但最近一位荷兰半导体专家坦言,中国企业在光刻机上的投入,比当年的ASML还要拼、还要狠。
没有捷径可走,就埋头一点点攻坚,不声不响推进技术突破。
可让人好奇的是,中国企业这番“死磕”,真能打破ASML的垄断,闯出一条属于自己的路吗?
ASML的40年
很多人以为ASML一开始就是行业巨头,其实不是。
1984年,荷兰的飞利浦和ASMI两家公司联手,凑钱成立了ASML,刚开始就几十号员工,挤在荷兰埃因霍温一个简陋的厂房里,条件差到下雨天还会漏雨。
信息来源:荷兰光刻巨头,+诞生于一个4.5万人的小镇
那时候的光刻机市场,根本没ASML的位置,美国的GCA、日本的尼康和佳能,三分天下,占据了几乎所有市场份额。
ASML早期做出来的产品,性能很一般,连一些小厂家都不愿意用,只能靠飞利浦的内部订单勉强维持运转,好几次都差点撑不下去。
从成立到真正站稳脚跟,ASML熬了十几年,1991年,他们推出了PAS5500系列光刻机,靠着精准的对准技术,才从尼康、佳能手里抢下第一批客户。
1995年公司上市,募集到的所有资金,他们没用来扩张,全砸进了研发。
2000年,ASML收购了美国的硅谷集团,整合出193纳米扫描技术,这才拿到了给英特尔供货的资格,真正在行业里站稳了脚。
最耗时的是EUV光刻机的研发,从1997年立项,到2013年第一台能用于生产的机器出货,整整花了16年。
这期间,光源系统反复出问题,炸了上百次,德国蔡司的工程师,为了打磨出纳米级精度的镜片,在无尘室里一待就是十几个小时,吃饭睡觉都在实验室附近。
40年下来,ASML熬死了很多竞争对手,也整合了全球的供应链。
一台光刻机有10万个零件,镜片来自德国蔡司,光源来自美国,传感器来自日本,需要上百家供应商一起配合。
到现在,全球7纳米以下芯片制造的光刻机,基本都被ASML垄断,没有它,很多高端芯片就造不出来。
那位荷兰专家说,他们的成功,没有捷径,就是慢功夫磨出来的,每一个零件都做到极致。
中国企业的困境
中国企业涉足光刻机领域,比ASML晚了整整30多年,起步的时候,面临的困难比当年的ASML还大。
2002年上海微电子成立的时候,中国在光刻机领域几乎是一片空白,没有核心技术,没有成熟的供应链,甚至连相关的人才都很稀缺。
更难的是,美国联合荷兰、日本,对中国实施技术封锁,最先进的EUV光刻机,明确禁止卖给中国。
就连相对普通的DUV光刻机,也层层受限,核心零件买不到,技术资料查不到,甚至有国外专家直言:“中国永远造不出高端光刻机,给你们全套图纸,你们也造不出合格的零件。”
那时候,很多人不看好中国能搞出光刻机,觉得我们起步太晚,差距太大,再加上封锁,根本没有机会。
但中国企业没有放弃,越是被限制,越要咬牙坚持,这份狠劲,不是喊口号,是实打实的投入和坚守。
可能有人会问,为什么一定要自己搞光刻机?因为核心技术靠别人,永远没有主动权。
别人一旦断供,我们的芯片产业就会陷入停滞,手机、电脑、新能源汽车等很多行业,都会受到影响。
所以,搞自主研发,不是为了争第一,是为了不被别人“卡脖子”。
三中国企业的狠
荷兰专家说,ASML的成功,是靠全球供应链“搭积木”,整合各国的核心技术,而中国企业,是自己“造积木”,从最基础的零件开始,一步步自主研发,这种狠劲,很少见。
先说说上海微电子,这家2002年成立的公司,早期其实就是一个科研项目组,人不多,资金也有限,他们没有盲目跟风ASML的技术路线,而是从成熟制程开始,一步步摸索。
信息来源:中国机会|ASML:半导体产业开放合作是主流
2023年,他们推出了SSA800浸没式光刻机,能生产28纳米芯片,已经交付给中芯国际使用。
现在,上海微电子的系统能支持90纳米以上的芯片制造,在国内的市场份额达到90%,全球占比35%。
要知道,ASML花了20年才达到这个渗透率,而上海微电子只用了20年左右,速度已经很快了,而且他们的零部件国产化率超过75%,不用再完全依赖进口。
再说说华为,2019年,华为跨界组建了光刻机研发团队,很多人觉得,华为是做通信设备的,搞光刻机就是“不务正业”,肯定搞不成。
但华为没有在意这些质疑,2023年在上海建了研发中心,投入16.6亿美元,还挖来了前ASML的工程师,一点点逆向攻关。
2025年初,华为真的搞出了EUV原型机,虽然还没有实现量产,但极紫外光已经能稳定运行。
而且华为还找到了一条绕开EUV的路,利用成熟的DUV光刻设备,结合多重曝光技术,实现了更先进制程芯片的制造,这在没有EUV的情况下,已经是很大的突破了。
除此之外,中国还有很多机构和企业,一起参与到光刻机研发中,中科院、上海光机所等几十家机构,从光源到镜片,全链条自主攻关,不依赖国外的技术和零件。
我们没有走ASML“全球整合”的路,因为别人不卖给我们,我们只能自己造,这种“被逼出来”的狠劲,就是中国企业的底气。
不吹不黑
说实话,现在中国的光刻机,和ASML还有差距,ASML的EUV光刻机,能制造7纳米以下的高端芯片。
已经实现大规模量产,而中国的EUV原型机还在试产阶段,预计2026年三季度才能完成量产验证。
有人说,既然还有差距,有什么好骄傲的?其实,我们骄傲的不是现在有多厉害,而是在被封锁、从零起步的情况下,没有放弃,一步步追赶。
ASML有40年的积累,有全球供应链加持,而我们,是在别人的封锁下,自己摸索、自己研发,每一步都走得很艰难,但也很坚定。
现在,中国在光刻机领域的进步越来越快,EUV专利申请量三年增长200%,光源、镜片相关的技术论文数量,位居全球第一。
在封装光刻机领域,上海芯上微装半年就交付了500台,全球市占率达到35%。
28纳米光刻机已经实现量产,能满足汽车、家电、5G基站等领域的芯片需求,而28纳米也是全球芯片市场的“常青树”,占据近三成的市场份额。
那位荷兰专家最后说:“我们曾经以为,垄断就是技术的终点,可中国企业让我们明白,真正的竞争,是让技术回归服务产业的本质。”
其实,中国研发光刻机,不是为了取代ASML,而是为了打破垄断,拥有自己的核心技术,不再被别人“卡脖子”。
今天跟大家说这些,不是为了吹中国有多厉害,而是想告诉大家,中国科技的进步,从来都不是一蹴而就的,是无数工程师日复一日的坚守,是中国企业实打实的投入换来的。
或许我们现在还没有完全追上ASML,但请相信,只要我们一直坚持,不放弃,总有一天,我们会在全球半导体领域,拥有属于自己的话语权。
最后想问大家,你们觉得中国光刻机多久能追上ASML?评论区留下你的看法,一起为中国科技加油。