近日，有博主根据TeraFab公开信息猜测，马斯克或将采用FEL（自由电子激光器）路线取代传统EUV（极紫外光刻）光源，而马斯克在社交媒体上回复“FELFTW（FEL必胜）”的举动，似乎证实了这一猜想。FEL技术通过粒子加速器产生高能电子束，再经波荡器输出可调谐的激光，理论上能输出比现有LPP（激光产生等离子体）方案高4倍的功率，且波长可调，被视为下一代EUV光源的有力候选。
该猜想虽未获官方证实，却引发了业界对芯片制造格局的深度反思。传统EUV光刻机被ASML垄断，而FEL和原子光刻等替代技术若实现产业化，将可能颠覆现有供应链，甚至将光刻机成本、体积和能耗压缩至十分之一，零件数量锐减至百分之一。有网友直言“这是要掀ASML的桌子”，但更多声音保持谨慎：技术成熟度、工程化难度和商业化周期仍是悬而未决的难题，这场“颠覆”究竟是真突破还是空谈，尚需时间检验。
该猜想虽未获官方证实，却引发了业界对芯片制造格局的深度反思。传统EUV光刻机被ASML垄断，而FEL和原子光刻等替代技术若实现产业化，将可能颠覆现有供应链，甚至将光刻机成本、体积和能耗压缩至十分之一，零件数量锐减至百分之一。有网友直言“这是要掀ASML的桌子”，但更多声音保持谨慎：技术成熟度、工程化难度和商业化周期仍是悬而未决的难题，这场“颠覆”究竟是真突破还是空谈，尚需时间检验。
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