PA-300相位差检测仪的工作原理 日本Photonic lattice PA-300相位差检测仪主要用于双折射和应力测量，其工作原理基于光子晶体偏光阵列片和独特的双折射算法。具体如下：
• 低相位差精准捕获技术：PA-300通过最小分辨率为0.001nm的光子晶体阵列检测单元，结合520nm绿光波段的双折射增强算法，可捕捉基板边缘与中心区域的相位差梯度变化。其斯托克斯分量同步采集技术，避免了机械旋转部件导致的振动误差，确保12英寸基板全区域检测重复精度稳定在σ<0.1nm。 @新京报 #2025月圆赛诗会# #止沸新闻解读官# #晒晒手机相册里的大树# #随手拍秋天景色# • 信号处理与分析：PA-View软件支持基板按“有效区域/边缘区域/定位标记区”自定义分区检测，实时生成彩色相位差热力图，可精准锁定应力集中点。选配应力换算模块后，可直接将相位差数据转化为MPa级残余应力值，严格匹配ASTME837标准中“光谱纯石英基板残余应力≤50MPa”的要求。