中国这些年对光刻机的进口量一路飙升，尤其是从荷兰ASML公司买的那些设备，数据摆在那儿，让人看不懂。2024年，中国从ASML采购了大约89.2亿欧元的光刻机，占了ASML全年系统销售额的41%，成了它最大的客户。
可奇怪的是，这些机器买回来后，并没有马上大规模用来生产芯片，而是囤着，或者拿来研究。
光刻机是芯片制造的核心设备，全球半导体设备市场2024年销售额1090亿美元，光刻机占比24%，稳坐头把交椅。要造7纳米以下的先进芯片，得用极紫外光刻机，但这个全球就ASML一家能做，单台卖1.5亿美元以上。
中国买的主要是深紫外光刻机，因为极紫外早就被禁了。从2019年美国商务部针对华为切断供应链开始，到2023年荷兰禁止先进深紫外出口，再到2024年美荷联合禁特定型号，这层层加码的管制，让中国企业只能抓紧囤货。
2023年全年，中国进口光刻机花费约600亿元人民币，比2022年的200亿元翻了两倍。2025年前两个月，又进口32台，花费76亿元，同比增256%。这些数字不是白来的，海关数据和ASML财报都对得上。
管制越来越紧，中国企业就越买越多，这不是冲动消费，而是实打实的战略储备。想想看，荷兰政府从2024年1月起收紧对华出口，将NXT:2000i等高端深紫外机列入禁运清单。中芯国际、长江存储这些大厂，得赶在大门关死前多囤点儿。
这些设备不光是生产工具，更是未来3到5年产业发展的底牌。全球半导体协会数据表明，光刻机占芯片制造设备支出的25%，没了它，生产线就转不动。中国芯片产业没一头扎进最先进制程，而是主攻28纳米到90纳米的成熟工艺。
这些芯片听着不炫，但车用电子、智能家居、物联网都离不开，市场份额全球超60%，需求未来十年稳着呢。中国已占全球成熟芯片市场的35%，要守住这块儿，ASML的深紫外机少不了。
2025年，中国半导体设备自给率预计达50%，从2024年的13.6%跳上来，这得益于进口设备提供的缓冲。不是说中国就靠买买买，实际情况复杂多了。一台高端光刻机有八万多个零部件，全是全球顶尖企业的机密，逆向工程没那么简单。
中国走的是务实自主路，上海微电子2025年实现28纳米光刻机量产，核心部件国产化超90%。浙江大学研发的电子束光刻机精度到0.6纳米，线宽8纳米。中芯国际用深紫外机优化多重曝光工艺，试制出7纳米芯片，良率达90%。这些进步，让进口机从单纯生产转为研究样本。
2020年采购额150亿元，占ASML营收12%，2021年升到250亿元，占14%，2022年约400亿元，超20%，2023年725亿欧元，约6000亿元，全年225台入港，即便禁令下还买了300多台。
2024年订单占比一度近一半，全年101.9亿欧元，中芯拿了78亿欧元。2025年订单占比降到20%，但本土测试加速了。
拆解从晶圆台和光学系统入手，用算法优化多重曝光，把40纳米线宽挤到7纳米。华为Mate 60 Pro的7纳米芯片就是实证，晶体管密度每平方毫米1.5亿，性能稳定。
Mate 70的本土芯片密度达1.8亿。专利申请从2020年的500件到2023年的2500件，增400%。上海微电子的SSA/800系列分辨率28纳米，套刻精度1.9纳米。2025年12月，完成28纳米浸没式深紫外量产标准，预计2026年投放市场。极紫外原型光源功率升20%，掩膜国产化80%。
这套打法短期用成熟节点撑产业，长期逼近先进工艺。2025年全球半导体营收预计7720亿美元，2026年9750亿美元，逻辑和存储拉动，亚太增长近25%。2024年中国出口1.03万亿元，2025年前十月9311亿元，增21.4%。
这盘棋长远在哪儿？不是一两代芯片参数，而是供应链从可用到可控。短期看良率成本，长期看方法。中国用囤拆研产四步走，掌握要诀。米勒判断有道理，懂了光刻，西方优势就不牢了。
全球设备支出预计2024到2027年超1000亿美元，中国成重心，本土设备上位。ASML在中国市场份额从2023年的30%-40%降到2025年的20%。国家大基金三期3440亿元，扶持光刻链。
长春光机所做物镜，北京科益虹源激光源，华卓精科双工件台。欧盟报告，对华贸易成员国GDP增速高1.8%。巴西签两洋铁路，加强合作。中国芯片自主化重塑格局，不是抢一时量，追一世可控。问题还在，囤到啥程度够？多重曝光成本怎么匹配市场？这些得用量产数据说话。
2025年，中国自给率升，进口降，ASML和东京电子慌了，中国芯片厂不那么依赖进口了。自给率从2024年的35%-40%往上走，产业链耐心积累。封锁带来压力，能力重塑规则。这事儿不需要口号，就看稳定产线和可靠算法。
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