2020年,全球半导体市场规模已经超过4000亿美元,全球光刻机市场规模约为200亿美元,相较半导体产业,光刻机算是一个缝隙市场。
所谓缝隙市场,即市场空间相对较小,被拥有绝对优势企业垄断的细分市场,门槛高、利润高、小而美是缝隙市场的典型特点。
霸主阿斯麦
光刻机市场的霸主是荷兰的阿斯麦,其能实现7纳米以下先进工艺的EUV高端光刻机,市场份额100%,中高端市场份额占比84%,全市场份额超过60%。
在光刻机中高端市场,除尼康还有一席之地外,阿斯麦找不到其他竞争对手,行业前三中,阿斯麦、尼康、佳能市场份额达到全市场的99%,属于高度垄断的市场。
10月14日,荷兰阿斯麦(ASML)发布三季报财务数据,当季销售收入40亿欧元,净利润高达11亿欧元(约合人民币87亿元,每台净利1.45亿),净利润率27.5%,2020年前三季,阿斯麦总共实现净销售额97.24亿欧元,较去年同期77.83亿欧元提高近25%,净利润22.03亿欧元,同比增加51%。
三季度阿斯麦共获得60台光刻机销售收入,总额31亿欧元,其中EUV光刻机14台,但收入占比达到66%,地区方面,中国台湾贡献了光刻机收入的47%,韩国厂商贡献26%,中国大陆企业贡献21%,整个东亚地区贡献阿斯麦销售收入超过95%。
另外,阿斯麦预计全年35台EUV光刻机的交付计划不变,单台设备的价格约为1.36亿欧元,同比上涨25%,但即便价格高昂,订单依然不减,三季度阿斯麦还接到累计29亿欧元的新订单,此外还有50多台EUV光刻机接近100亿欧元的订单在手。
值得注意的是,来自国内订单的占比已连续两个季度超过阿斯麦销售收入的20%,同比大幅增长,但国内晶圆厂的采购,主要集中在中高端光刻机,最先进的EUV光刻机仍然想买买不到,17年中芯国际1.2亿美元下单一台EUV光刻机,现在也没能到货。
进口先进光刻机障碍重重
国内晶圆厂购买先进光刻机有几重障碍,一方面需要投资阿斯麦才能拿到优先供货权,比如台积电、三星、英特尔都是阿斯麦的股东;
另一方面,目前阿斯麦的前两大股东分别为美国资本国际集团(15.2%)和贝莱德集团(6.52%),公司实际由美国资本控制,光刻机零部件采购也包含大量美国技术,比如大功率光源来自美国的Cymer公司,控制软件也来自美国,若限制含美国技术半导体设备出口中国,阿斯麦也会断供;
此外,还来自于《瓦森纳协定》的约束,上世纪90年代中后期,我国投入巨资发展908和909工程,但受到美国、日本等国在设备、技术出口管制方面的限制,华晶、华虹等到国际市场采购设备都先后遭遇到了“瓦森纳安排”,买不到设备,极大地妨碍了中国在半导体产业链生产中的水平升级,这个问题依然存在。
阿斯麦首席财务官Roger Dassen在三季报会议的视频采访中谈及了中国客户的业务情况,他表示,如果广泛来理解美国规章制度对阿斯麦的总体定义,则意味着阿斯麦将能够从荷兰向中国客户提供DUV光刻系统,且无须出口许可证,不过,如果涉及直接从美国运往此类客户的零件或系统,阿斯麦则需要为此申请出口许可证。
所谈及的DUV光刻机,即光源采用深紫外光(KrF/ArF)的浸入式光刻机,最大能够实现42-22纳米制程工艺的芯片,但跟EUV光刻机还差很多,国内晶圆厂没有最先进的光刻机,就始终被三星、台积电甩在后面,纵使华为高端芯片的订单摆在面前,也难免心有余而力不足。
DUV光刻机
总之,外部的各种限制卡脖子,不得不逼着国内半导体业界,什么东西都得自己来,别人家东西再好,也抵不过自家有。
EUV光刻机
如今,阿斯麦官宣新机型TWINSCAN NXE:3600D的最终规格,其在曝光速度和精度上都有提升,这种高利润率、赚最多的钱、砸最多研发投入形成良性循环的公司,是国内相关公司追赶的目标,也是学习的榜样。
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